基于白光干涉测量法(WLI)的光学轮廓仪

德国 Polytec 光学轮廓仪,是创新型、高精度的非接触式传感器系统,代表着前沿科技与卓越精度的融合,其主要功能在于对工件或微观结构的整个表面进行全面的三维形貌表征。

TopMap 系列光学轮廓仪基于白光干涉测量原理,又被称作相干干涉测量法、垂直扫描干涉测量法,或是相干雷达技术。该系列产品具备显著优势:拥有大垂直测量范围,可实现 nm 级分辨率;能针对大尺寸样品开展面测量,亦或一次完成多样品测量。正因如此,它们堪称测量实验室以及生产测试场景的理想之选。

利用 TopMap 光学轮廓仪,可对大尺寸样品结构的各项表面参数,诸如平面度、台阶高度和平行度等,开展非接触式测量。整个测量过程快速且可靠,为相关领域的检测工作提供了高效且精准的解决方案 。

所有新购买的 TopMap 光学表面测量系统自交货之日起保修 4 年。
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