超音波トランスデューサのリアルタイム特性評価
超音波トランスデューサは、医療用超音波アプリケーションの代表事例です。一般的に、pMUT（圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ）とcMUT（容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ）の2種類があります。
cMUTは、曲げモードがトランスデューサの機械的インピーダンスを減少させ、エネルギーリークを防ぐという独特な特性を持っています。半導体技術を使用した微細加工により、cMUTを手頃な価格で製造することができます。半導体スイッチング回路は大型の1Dもしくはより複雑な2Dアレイ構成になるように、同じチップ上に直接組み込まれます。
超音波トランスデューサの新製品の動作評価は有限要素シミュレーションとポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計 マイクロシステムアナライザ MSAなどの顕微鏡ベースのレーザドップラ振動計を両方を使うと効果的です。有限要素シミュレーションでは、トランスデューサの挙動を予測します。一方レーザ振動計は機械的周波数応答を直接測定します。広い周波数帯域幅で時間軸波形を測定できるため、特に過渡プロセスを確実かつ正確に測定するために有用です。
ポリテック マガジン
FEM simulation and measurement validation of an ultrasound transducer
One of the workhorses of medical imaging is ultrasound imaging, often called (diagnostic) medical sonography. The advancement of transducer technology for creating the ultrasound waves is a very dynamic su…
Non-destructive measurements for determining the performance of a CMUT ultrasound transducer
Fuel consumption of aircrafts is a hot topic in the current discussion about global climate change. An important factor is the design of the aircraft engine itself. In order to reduce weight and build more…
cMUTの測定
ベルギーのIMEC（大学間マイクロエレクトロ二クスセンター）は、ポリテックの顕微鏡型レーザドップラ振動計 マイクロシステムアナライザ MSAを用いて独自のcMUTの動作検証を行い、その測定結果によって、レイリー積分法を用いたトランス空間圧力場を特定しました。その結果は後にハイドロホンによる測定でも裏付けされました。
マイクロシステムの特性評価
関連製品
MSA IRIS 測定サービス
この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
The 3D Micro System Analyzer records vibration components in all three spatial directions at once. The optical measurement system enables high-resolution 3D vibration analysis from DC up to 25 MHz with amplitude resolutions in the sub-picometer range, for both in-plane and out-of-plane vibration components.
マイクロシステムアナライザ MSA-600
MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリュー ションで、最大 8GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。
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