顕微鏡型レーザドップラ振動計

マイクロシステムアナライザMSA-060

小型部品のステージ移動式多点振動測定

マイクロシステムアナライザ MSA-060

小型部品や微細構造物の振動測定

MSA-060マイクロシステムアナライザは、MEMSやマイクロシステムの振動挙動、精密機械のダイナミクス、電子機器の信頼性を総合的に評価するための小型光学測定システムです。共振周波数、振動振幅の特定、さらにはサンプル全体の振動モードの可視化を支援します。

MSA-060 は、非常に小さく繊細なものからメソスケールのテスト構造物まで、真の振動ダイナミクスを捉えることができます。データ収集機器 VibSoft-PROは、2チャンネルで、シグナルジェネレータ―(信号発生器)を備えています。また、オプションのXYステージを使用すれば、サンプル表面全体をスキャンすることができ、DCから24 MHzまでの周波数帯域幅でピコメータ分解能のリアルタイム振動データを測定します。

 


 

特長

高精度非接触小型振動計測システム
最大24MHzまでのリアルタイム振動測定
ピコメートルの面外変位分解能
HD+カメラ内蔵でセットアップやドキュメント作成が簡単 
シグナルジェネレータを搭載した2チャンネルDAQ
電動XYステージによるスキャニング測定(オプション)
振動モードのアニメーション表示と総合的なデータ解析

小型軽量物の微細な振動を非接触で測定

小型軽量構造物の非接触特性評価。振動、音響、動的挙動の解析。生物・医療系の生体、エレクトロニクス部品、MEMSなどの小型で軽量な測定物も、質量負荷なくレーザで、非接触で測定できます。レーザドップラ振動計は、測定周波数帯域がDCからGHzまでと広く、振動モード・周波数応答を測定し、解析結果の検証ができます。共振周波数、インパルス応答、減衰特性を測定します。微細な振動も、ポリテックのレーザドップラ振動計なら測定できます!

顕微鏡光学系を搭載した汎用性の高いモジュール型レーザドップラ振動計

最大24MHzのデータ収集、2チャンネル、シグナルジェネレータ(信号発生器)、スタンドアローンでの使用も可能です。モジュール式で柔軟性の高いシステムには、コンパクトなスタンドが付属していますが、オプションで従来の三脚に取り付けることも可能です。MSA-060は、さまざまな顕微鏡対物レンズを搭載しており、マイクロスケールからメゾスケールのサンプルまで、エントリーレベルのスキャンシステムとして使用することができます。HD+カメラとインライン照明ユニットを搭載し、最高のビデオ品質とスキャングリッドの定義を簡素化することで、セットアップとテストレポート作成を簡単に実施します。さらに、ソフトウェアでは、プログラマブル シグナル プロセッサ機能による包括的なデータ解析と評価、測定データの直感的な視覚化と振動モードのアニメーション表示を実現します。

電子機器、小型部品、マイクロシステムのダイナミクスを非接触で測定
卓上型MSA-060マイクロシステムアナライザによる電子機器、微細構造、MEMSの光ダイナミクス試験
MSA-060マイクロシステムアナライザを使用したRnDラボでの微細構造ダイナミクス試験
全視野測定の結果から動的な変形形状アニメーションを作成可能

Microstructure User Meeting 2027 

Join our international community of MEMS and microstructure experts. The next Microstructure User Meeting will take place in November 2027 at Polytec headquarters in Waldbronn. 

Explore the event topics, register your interest, and discover highlights, presentations and impressions from the successful 2026 meeting.

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