小型部品や微細構造物の振動測定

MSA-060マイクロシステムアナライザは、MEMSやマイクロシステムの振動挙動、精密機械のダイナミクス、電子機器の信頼性を総合的に評価するための小型光学測定システムです。共振周波数、振動振幅の特定、さらにはサンプル全体の振動モードの可視化を支援します。

MSA-060 は、非常に小さく繊細なものからメソスケールのテスト構造物まで、真の振動ダイナミクスを捉えることができます。データ収集機器 VibSoft-PROは、2チャンネルで、シグナルジェネレータ―(信号発生器)を備えています。また、オプションのXYステージを使用すれば、サンプル表面全体をスキャンすることができ、DCから24 MHzまでの周波数帯域幅でピコメータ分解能のリアルタイム振動データを測定します。

特長

  • 高精度非接触小型振動計測システム
  • 最大24MHzまでのリアルタイム振動測定
  • ピコメートルの面外変位分解能
  • HD+カメラ内蔵でセットアップやドキュメント作成が簡単
  • シグナルジェネレータを搭載した2チャンネルDAQ
  • 電動XYステージによるスキャニング測定(オプション)
  • 振動モードのアニメーション表示と総合的なデータ解析

顕微鏡光学系を搭載した汎用性の高いモジュール型レーザドップラ振動計

最大24MHzのデータ収集、2チャンネル、シグナルジェネレータ(信号発生器)、スタンドアローンでの使用も可能です。モジュール式で柔軟性の高いシステムには、コンパクトなスタンドが付属していますが、オプションで従来の三脚に取り付けることも可能です。MSA-060は、さまざまな顕微鏡対物レンズを搭載しており、マイクロスケールからメゾスケールのサンプルまで、エントリーレベルのスキャンシステムとして使用することができます。HD+カメラとインライン照明ユニットを搭載し、最高のビデオ品質とスキャングリッドの定義を簡素化することで、セットアップとテストレポート作成を簡単に実施します。さらに、ソフトウェアでは、プログラマブル シグナル プロセッサ機能による包括的なデータ解析と評価、測定データの直感的な視覚化と振動モードのアニメーション表示を実現します。

アクセサリーとコンポーネント

光学アクセサリ

Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers
Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers

VIB-A-10xLENS 10x Microscope Lens

37.3mmのスタンドオフディスタンスで3μmのレーザースポット径を実現。

Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers
Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers

VIB-A-20xLENS 20x Microscope Lens

21.7mmのスタンドオフ距離で1.5μmのレーザースポット径を実現。

Vibrometer accessory illumination module with LED light
Vibrometer accessory illumination module with LED light

VIB-A-510 Illumination Module

被写体を同軸上に照らすLED光源。顕微鏡レンズ VIB-A-10xLENS / VIB-A-20xLENS との併用をお勧めします。

その他

Icon accessory
Icon accessory

A-JST-0001

ジョイスティックでxy-positioningステージを手動で操作することができます。


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