小型部品や微細構造物の振動測定
MSA-060マイクロシステムアナライザは、MEMSやマイクロシステムの振動挙動、精密機械のダイナミクス、電子機器の信頼性を総合的に評価するための小型光学測定システムです。共振周波数、振動振幅の特定、さらにはサンプル全体の振動モードの可視化を支援します。
MSA-060 は、非常に小さく繊細なものからメソスケールのテスト構造物まで、真の振動ダイナミクスを捉えることができます。データ収集機器 VibSoft-PROは、2チャンネルで、シグナルジェネレータ―（信号発生器）を備えています。また、オプションのXYステージを使用すれば、サンプル表面全体をスキャンすることができ、DCから24 MHzまでの周波数帯域幅でピコメータ分解能のリアルタイム振動データを測定します。
特長
- 高精度非接触小型振動計測システム
- 最大24MHzまでのリアルタイム振動測定
- ピコメートルの面外変位分解能
- HD+カメラ内蔵でセットアップやドキュメント作成が簡単
- シグナルジェネレータを搭載した2チャンネルDAQ
- 電動XYステージによるスキャニング測定（オプション）
- 振動モードのアニメーション表示と総合的なデータ解析
小型軽量物の微細な振動を非接触で測定
小型軽量構造物の非接触特性評価。振動、音響、動的挙動の解析。生物・医療系の生体、エレクトロニクス部品、MEMSなどの小型で軽量な測定物も、質量負荷なくレーザで、非接触で測定できます。レーザドップラ振動計は、測定周波数帯域がDCからGHzまでと広く、振動モード・周波数応答を測定し、解析結果の検証ができます。共振周波数、インパルス応答、減衰特性を測定します。微細な振動も、ポリテックのレーザドップラ振動計なら測定できます！
顕微鏡光学系を搭載した汎用性の高いモジュール型レーザドップラ振動計
最大24MHzのデータ収集、2チャンネル、シグナルジェネレータ（信号発生器）、スタンドアローンでの使用も可能です。モジュール式で柔軟性の高いシステムには、コンパクトなスタンドが付属していますが、オプションで従来の三脚に取り付けることも可能です。MSA-060は、さまざまな顕微鏡対物レンズを搭載しており、マイクロスケールからメゾスケールのサンプルまで、エントリーレベルのスキャンシステムとして使用することができます。HD+カメラとインライン照明ユニットを搭載し、最高のビデオ品質とスキャングリッドの定義を簡素化することで、セットアップとテストレポート作成を簡単に実施します。さらに、ソフトウェアでは、プログラマブル シグナル プロセッサ機能による包括的なデータ解析と評価、測定データの直感的な視覚化と振動モードのアニメーション表示を実現します。
アクセサリーとコンポーネント
光学アクセサリ
VIB-A-10xLENS 10x Microscope Lens
37.3mmのスタンドオフディスタンスで3μmのレーザースポット径を実現。
VIB-A-20xLENS 20x Microscope Lens
21.7mmのスタンドオフ距離で1.5μmのレーザースポット径を実現。
VIB-A-510 Illumination Module
被写体を同軸上に照らすLED光源。顕微鏡レンズ VIB-A-10xLENS / VIB-A-20xLENS との併用をお勧めします。
その他
A-JST-0001
ジョイスティックでxy-positioningステージを手動で操作することができます。
関連商品
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
3Dマイクロシステムアナライザは、3つの空間方向の振動成分を一度に測定します。この光学計測システムは、面内および面外の振動成分について、サブピコメータレンジの振幅分解能で、DCから25 MHzまでの高分解能3次元振動解析を可能にします。
マイクロシステムアナライザ MSA-600
MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリュー ションで、最大 6GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。
MSA IRIS 測定サービス
この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。
PSVソフトウェア
PSV ソフトウェア は、ポリテックのスキャニング型レーザドップラ振動計の中核となるソフトウェアです。この包括的なソフトウェア パッケージでは、すべての PSV スキャニング振動計、顕微鏡型レーザドップラ振動計の MSA マイクロシステム アナライザ シリーズ、および非接触振動測定が自動化された RoboVib® で収集された振動測定データを、高速かつシンプルに収集、表示、編集できます。
VibSoft データ収集/解析ソフトウェア
VibSoft は、振動測定結果のデータ収集と詳細な解析の両方を提供します。測定物励起のための内蔵シグナルジェネレータやリアルタイムの測定物の画像データ保存、測定データの後処理が可能なシグナル プロセッサ （ポリテック独自のデータ後処理機能） などのオプションがあり、VibSoft は非常に便利なツールです。VibroLink インターフェースを搭載したポリテックのレーザドップラ振動計対応機種においては、Ethernet または WLAN を介して VibSoft または VibSoft-VL と直接通信を行います。これにより、測定データの安定した転送と、完全なデジタル方式による測定パラメータのリモート制御が可能になります。