オールインワンでMEMSの振動と形状を測定

MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。

MSA-600-M / Vは最大25MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロフォンおよびその他のマイクロシステムに最適です。 MSA-600-X / Uは、最大2.5 GHzの高周波数範囲と超高周波数範囲をカバーし、HF MEMS共振器、SAW、BAWなどのマイクロ音響デバイスの評価に最適です。

概要

  • マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
  • リアルタイム測定(後処理不要)
  • 測定周波数帯域 最大25MHz(MSA-600-M / V)
  • 測定周波数帯域 最大2.5 GHz(MSA-600-X / U)
  • サブピコメートル変位分解能
  • 振動形状のすばやい測定と可視化
  • 直観的かつ直感的な操作
  • MEMSプローブステーションとの統合が容易
  • FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション

MEMSおよびマイクロ構造解析のための貴重なツール

広帯域で加振すると、コンポーネントに関する事前情報を必要とせずに、単一パスですべての機械的共振(面内および面外)を迅速に識別できます。 そこで高感度スキャニングレーザドップラ振動計を使用して、フルフィールドスキャンを実行すれば、25 MHzまでの帯域幅で構造ダイナミクス(面外)の測定結果を得ることができます。 面内振動については、ストロボスコープビデオ顕微鏡を使用すれば測定可能です。

一般的なプローブステーションと互換性のあるマイクロシステムアナライザは、MEMSの試作品作成から測定およびトラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階で利用でき、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。

Wafer-level and single-die testing

Accessories and components

Optical accessories

A-MOB-xxxx Bright Field Objectives

For out-of-plane and in-plane vibration measurement. Available magnifications: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x and 3.6x, 10x for large working distances.

Tripods, test stands, positioning stages

A-STD-TST-01 Test Stand

Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.

A-STD-BAS-02 Base Stand

Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.

A-STD-F50 Focus Block

Travel Range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.

Vibration isolation, breadboards

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-WST-001 Workstation

Workstation for use with Polytec's A-TAB-AIR-01 and A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Tables.

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

Miscellaneous

A-ESG-001 External Signal Generator

For high frequency, broadband sample excitation.

MSA-A-WPM Wafer Prober Module

Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.


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