MEMSや微細構造物の動的応答と表面粗さ・形状の測定
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）などの微細構造デバイスの試験や開発において、表面形状や動的運動の解析と可視化は重要な役割を担っています。MSA-600マイクロシステムアナライザは、表面形状や面内・面外運動の特性を測定するためのオールインワン光学測定ワークステーションで、FEモデルの検証、クロストーク効果の判定、表面変形の測定などに不可欠な装置です。
MSA-600-M/Vは、最大25 MHzの周波数範囲をカバーし、MEMSアクチュエータ、MEMSマイクロホン、その他のマイクロシステムに最適です。MSA-600-X/Uは、2.5 GHzまでの高周波および超高周波領域に対応し、高周波MEMS共振器やSAW（表面弾性波）、BAW（バルク音響波）などのマイクロアコースティックデバイスの評価に最適なモデルです。
MSA-600-Sは、8GHzのリアルタイム振動解析と表面形状解析に特化した光学測定ワークステーションです。FBAR（フィルムバルク音響共振器）、BAWフィルタ、SAWデバイスなどのGHz帯MEMSのテストに最適です。
特長
//- マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
- リアルタイム測定（後処理不要）
- 測定周波数帯域 最大 25 MHz（MSA-600-M / V）
- 測定周波数帯域 最大 2.5 GHz（MSA-600-X / U）
- 測定周波数帯域 最大 8 GHz（MSA-600-S）
- サブピコメートル変位分解能
- 振動形状のすばやい測定と可視化
- 直観的かつ直感的な操作
- MEMSプローブステーションとの統合が容易
- FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション
MEMSおよびマイクロ構造解析のためのオールインワン光学測定ソリューション
MSA-600 マイクロシステムアナライザは、測定の柔軟性と精度を高め、現在および将来の微細構造のニーズに対応します。マイクロシステムアナライザは、高精度な3Dダイナミックおよびスタティック応答データを提供し、デバイスの性能を向上させるとともに、開発および製造コストを削減します。そのため、設計サイクルの強化・短縮、トラブルシューティングの簡略化、歩留まりの向上が図れます。
高性能レーザドップラ振動計は、サブ pm の変位分解能で高速かつリアルタイムの応答計測を実現します。また、白色光干渉計のオプションにより、数百万単位の 3D 表面データを瞬時に取得できます。MSA-600 は、わかりやすい操作性と直感的なユーザーインターフェースにより、研究開発および品質管理における強力な光学計測ソリューションとしてご利用いただけます。一般的なプローブステーションと互換性のあるこのマイクロシステムアナライザは、MEMSのプロトタイピングからテスト、トラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階をサポートし、生産コストの削減と市場投入までの時間の短縮を支援します。
GHz帯MEMSに特化した8GHz帯テストソリューション
MSA-600-Sは、8GHzまでの振動解析と表面性状評価を可能にした、世界初の専用光学測定ワークステーションです。GHz帯デバイスの開発、形状パラメータ評価のための品質管理、デバイスの性能・信頼性試験などにご利用ください。FBAR（フィルムバルク音響共振器）などの高周波デバイスや、GHz帯の共振器、デバイスの試験が可能です。
ウェハレベルおよびシングルダイのテスト
Microstructure User Meeting 2027
Join our international community of MEMS and microstructure experts. The next Microstructure User Meeting will take place in November 2027 at Polytec headquarters in Waldbronn.
Explore the event topics, register your interest, and discover highlights, presentations and impressions from the successful 2026 meeting.
FEモデルの検証
FEモデルのような空間分解能を持つ信頼性の高い光学測定データを使用して、有限要素モデルを効果的に検証するには？有限要素（FE）モデルは、開発時間とコストを大幅に削減することができます。FEM バリデーションの考え方は、シミュレーション結果を実際の試験データと比較する、いわゆる実験モーダルテストです。ポリテックのスキャニング振動計は、2D/3D のたわみ形状を計測し、直感的な視覚情報として提供します。
モーダル解析
モーダル解析とは、構造物に内在する固有振動特性を求めるプロセスです。構造物の振動モードは、有限要素（FE）モデルなどからシミュレーションすることもできますし、物理的な測定結果に数学的なモデルを当てはめることで導き出すこともできます。後者は実験モード解析と呼ばれます。
関連製品
マイクロシステムアナライザ MSA-650 IRIS
MSA-650 IRIS マイクロシステムアナライザ は、赤外線レーザを採用した特許取得済みの革新的な顕微鏡型レーザドップラ振動計で、測定周波数帯域は最大25 MHzで、シリコンキャップ越しにマイクロシステムを測定することができ、デバイスに接触したりデキャップすることなく、真のMEMSダイナミクスを明らかにします。
マイクロシステムアナライザ MSA-100-3D
MSA-100-3Dは、3次元におけるXYZ3軸振動成分を一度に測定します。非接触光学測定でありながら、面内および面外振動成分の両方において、DCから最大25MHzまでの高分解能3D振動解析をサブピコメートルレベルの振幅分解能で実現します。
マイクロシステムアナライザ MSA-060
顕微鏡型レーザドップラ振動計のエントリモデルです。他のモデルはレーザが測定物表面をスキャンするのに対し、MSA-060は電動ステージによる多点計測で、DCから24 MHzの小さな部品の表面全体の振動を非接触で測定、可視化することができます。
PSVソフトウェア
PSV ソフトウェア は、ポリテックのスキャニング型レーザドップラ振動計の中核となるソフトウェアです。この包括的なソフトウェア パッケージでは、すべての PSV スキャニング振動計、顕微鏡型レーザドップラ振動計の MSA マイクロシステム アナライザ シリーズ、および非接触振動測定が自動化された RoboVib® で収集された振動測定データを、高速かつシンプルに収集、表示、編集できます。
購入しなくても測定できます
ポリテックでは、資本投資に代わる選択肢として、計測サービス、機器レンタル、リースをご提供しています。短期プロジェクト、一時的なニーズ、予算の制約など、どのような状況でもお気軽にお問い合わせください。
PolyFlexなら、スケジュールや予算を犠牲にすることなく成果を得られます。