オールインワンでMEMSの振動と形状を測定

MSA-600マイクロシステムアナライザは、MEMSモジュールおよびマイクロ構造の静的および動的3D特性評価のための世界唯一のオールインワン測定システムです。 このマイクロシステムアナライザーは、スキャニングレーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、および白色光干渉計を備えた顕微鏡レンズを組み込むことにより、振動微細構造およびその形状を幅広く分析するのに理想的なオールインワンソリューションを提供します。共振周波数を迅速に特定し、関連する振動形状を可視化することができます。過渡現象でさえも高い信頼性をもって明確に可視化できます。

MSA-600-M / Vは最大25MHzの周波数範囲をカバーし、MEMS、MEMSマイクロフォンおよびその他のマイクロシステムに最適です。 MSA-600-X / Uは、最大2.5 GHzの高周波数範囲と超高周波数範囲をカバーし、HF MEMS共振器、SAW、BAWなどのマイクロ音響デバイスの評価に最適です。

特長

  • マイクロストラクチャのためのオールインワン光学測定ワークステーション
  • リアルタイム測定(後処理不要)
  • 測定周波数帯域 最大25MHz(MSA-600-M / V)
  • 測定周波数帯域 最大2.5 GHz(MSA-600-X / U)
  • サブピコメートル変位分解能
  • 振動形状のすばやい測定と可視化
  • 直観的かつ直感的な操作
  • MEMSプローブステーションとの統合が容易
  • FEモデル検証のためのインポート/エクスポートオプション

MEMSおよびマイクロ構造解析のための貴重なツール

広帯域で加振すると、コンポーネントに関する事前情報を必要とせずに、単一パスですべての機械的共振(面内および面外)を迅速に識別できます。 そこで高感度スキャニングレーザドップラ振動計を使用して、フルフィールドスキャンを実行すれば、25 MHzまでの帯域幅で構造ダイナミクス(面外)の測定結果を得ることができます。 面内振動については、ストロボスコープビデオ顕微鏡を使用すれば測定可能です。

一般的なプローブステーションと互換性のあるマイクロシステムアナライザは、MEMSの試作品作成から測定およびトラブルシューティングまで、開発のあらゆる段階で利用でき、生産コストを削減し、市場投入までの時間を短縮します。

ウェハレベルおよびシングルダイのテスト

アクセサリーとコンポーネント

光学アクセサリ

A-MOB-xxxx Bright Field Objectives

面外および面内の振動測定に。倍率は以下の通りです。1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、3.6倍、10倍と広い作業距離に対応しています。

三脚、テストスタンド、ポジショニングステージ

A-STD-TST-01 Test Stand

広々とした作業スペースを確保できるテストスタンド。電動Z軸付き、移動範囲200mm。

A-STD-BAS-02 Base Stand

センサヘッドを強固にサポートします。移動距離100mm、粗動・微動付きのマニュアルフォーカスブロックを装備。市販の光学台と接続可能。

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-STD-F50 Focus Block

移動範囲50mm。センサヘッドを手動でZ軸方向に調整するための粗動・微動ドライブ付き。市販のウェハプローバとの接続が可能。

除振台

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

アクティブなレベル調整が可能なエアダンピング除振台。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

電子制御によるボイスコイルの安定化により、最高のアイソレーション性能を実現。A-STD-TST-01テストスタンド、A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

台の大きさは900mm x 600mmで穴が開いています。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

電子制御で最高の防振性能を発揮します。メートル単位での穴あけが可能です。台の大きさは600×800mm。A-STD-BAS-02ベーススタンドを取り付けることができます。

その他

Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-ESG-001 External Signal Generator

高周波、広帯域のサンプルの励起するためのシグナルジェネレータ。PSV Softwareによるリモートコントロール付き。

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer

A-SPK-0008 Wafer Prober Module

ウェーハプローバモジュールは、A-PST-200P XYポジショニングステージと合わせて、直径200mmまでのウェーハや基板を電気的に接触させ、高精度に測定するための電動プラットフォームを形成します。

Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-SPK-0010 Vacuum Prober Module

真空・パージライン。4つの電気プローブを扱うためのマイクロマニピュレータ。


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