電子機器、半導体及び太陽電池技術における表面形状
Polytecの半導体産業向け多機能ソリューションは、電子機器や太陽電池技術産業におけるお客様の用途に最適に適合させることが可能です。例えばソフトウェア分野では、OK/NOK分析用のアプリケーション特化型ユーザーインターフェースを活用することで実現できます。Polytec は電子接点の検査ソリューションを提供します。BGAや「はんだバンプ」の高さ分析からICピンのコプラナリティ分析まで対応可能です。Polytec では、高出力レーザーダイオードのパッケージングに適したシステムもご提供しています。
電子・半導体産業向け光学プロファイラーおよび振動計
マクロプロファイラ
Pro.Surf systems enable fast, area-based 3D topography measurements with telecentric optics. They support reliable inspection of flatness, shape, parallelism and step heights across wide fields of view and in-bore features.
マイクロプロファイラー
Micro.View systems are optimized for ultra-high-resolution measurements in the sub-nanometer range. With focused optics and high vertical resolution they enable detailed analysis of microstructures, surface finish and material distribution where even the smallest deviations matter.
顕微鏡型レーザドップラ振動計
ポリテックのマイクロシステムアナライザは、MEMSのダイナミクスと形状の両方を測定することができる理想的な顕微鏡型システムです。 MEMSなどの電子デバイスは、電気テストで、デバイスが動作しているかどうかは証明できますが、デバイスがどう動作しているか、その正確な動きを見るには、レーザドップラ振動計しか手段がありません。また、小型軽量化、高周波駆動化する昨今では、非接触測定が可能で、かつ、キロヘルツ、メガヘルツ、さらにギガヘルツの高周波帯域でも、ナノピコ分解能で高精度に振動変位を測定できるレーザドップラ振動計は、必須のテスティングツールであると言えます。 さらにマイクロシステムのダイナミクスだけでなく形状もナノメートル精度で測定します。伝達関数の測定はもちろん、マイクロシステムの静的および動的な 3D 特性評価、Si 封止MEMSの測定、（真空）プローブステーションへの統合が可能な、ユニークなオールインワンソリューションです。
自信を持って最適な表面プロファイラーをお選びください——「購入前に試用」という当社のアプローチのメリットを享受いただけます。
