Caracterisation dynamique 3D et mesure de topographie des MEMS

La topographie de surface, l'analyse et la visualisation des mouvements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Elles sont indispensables pour valider les calculs FE et mesurer la déformation de la surface. L’analyseur de microstructures MSA-600, station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan.

Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu'à 25 MHz, idéales pour les MEMS comme les microphones MEMS et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu'à 2,5 GHz, parfaite pour la validation des résonateurs MEMS HF, des dispositifs micro-acoustiques tels que SAW, BAW et autres.

Points forts

  • Station de mesure optique tout-en-un pour les microstructures
  • Mesures de réponse en temps réel (aucun post-traitement requis)
  • Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 25 MHz

Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 2,5 GHz

  • Résolution de déplacement sub-pm inégalée
  • Mesure rapide et visualisation des déformées 3D
  • Fonctionnement simple et intuitif
  • Système automatisé pour une intégration facile sur stations sous pointes
  • Options d'importation / exportation pour la validation du modèle FE

Solution de mesure optique tout-en-un pour MEMS

L’analyseur de microstructures MSA-600 offre une flexibilité et une précision de mesures accrues. Il s'adapte aux besoins des microstructures d'aujourd'hui et de demain. Cet équipement fournit des données de réponses dynamiques et statiques 3D précises qui augmentent les performances des microstructures tout en réduisant les coûts de développement et de fabrication. Ainsi, le MSA-600 améliore et réduit les cycles de conception et simplifie l’analyse des défaillances.

La vibrométrie laser Doppler offre une mesure rapide et en temps réel avec une résolution de déplacement sub-pm. L’interféromètre à lumière blanche fournit des millions de données de surface 3D en quelques secondes. Complété par son fonctionnement simple et son interface utilisateur intuitive, le MSA-600 est la solution de mesure sans contact pour la R&D et le contrôle qualité. Compatible avec les stations sous pointes du commerce, l'analyseur de microstructures vous aide à toutes les étapes du développement - du prototypage MEMS au test et à l’analyse de défaillance- et vous aide ainsi à réduire les coûts de production et accélérer la mise sur le marché de vos composants.

Wafer-level and single-die testing

Accessories and components

Optical accessories

A-MOB-xxxx Bright Field Objectives

For out-of-plane and in-plane vibration measurement. Available magnifications: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x and 3.6x, 10x for large working distances.

Tripods, test stands, positioning stages

A-STD-TST-01 Test Stand

Test stand providing ample workspace. With motorized z-axis, travel range 200 mm.

A-STD-BAS-02 Base Stand

Rigid support for the sensor head. Includes manual focus block with 100 mm travel range with coarse and fine drive. Interfaces to commercially available optical tables.

A-STD-F50 Focus Block

Travel Range 50 mm. With coarse and fine drive for manual z-axis adjustment of the sensor head. Interfaces with commercially available wafer probe stations.

Vibration isolation, breadboards

A-TAB-AIR-01 Active Vibration Isolation Table

Air-damped vibration isolation table with active level adjustment. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Table

Electronically controlled voice coil stabilization for highest isolation performance. Compatibility: A-STD-TST-01 Test Stand, A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-WST-001 Workstation

Workstation for use with Polytec's A-TAB-AIR-01 and A-TAB-ELC-01 Active Vibration Isolation Tables.

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard with metric hole pattern. Footprint 900 mm x 600 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

A-AVI-MELA Active Vibration Isolation Breadboard

Electronically controlled for highest vibration isolation performance. With metric hole pattern. Footprint 600 x 800 mm. Compatibility: A-STD-BAS-02 Base Stand.

Miscellaneous

A-ESG-001 External Signal Generator

For high frequency, broadband sample excitation.

MSA-A-WPM Wafer Prober Module

Together with the A-PST-200P XY Positioning Stage, the wafer prober module forms a motorized platform for electrical contacting and high-precision measurement of wafers and substrates up to 200 mm in diameter.


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