Caracterisation dynamique 3D et mesure de topographie des MEMS

La topographie de surface, l'analyse et la visualisation des mouvements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Elles sont indispensables pour valider les calculs FE et mesurer la déformation de la surface. L’analyseur de microstructures MSA-600, station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan.

Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu'à 25 MHz, idéales pour les MEMS comme les microphones MEMS et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu'à 2,5 GHz, parfaite pour la validation des résonateurs MEMS HF, des dispositifs micro-acoustiques tels que SAW, BAW et autres.

Points forts

  • Station de mesure optique tout-en-un pour les microstructures
  • Mesures de réponse en temps réel (aucun post-traitement requis)
  • Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 25 MHz

Versions MSA-600-M/V pour les fréquences jusqu'à 2,5 GHz

  • Résolution de déplacement sub-pm inégalée
  • Mesure rapide et visualisation des déformées 3D
  • Fonctionnement simple et intuitif
  • Système automatisé pour une intégration facile sur stations sous pointes
  • Options d'importation / exportation pour la validation du modèle FE

Solution de mesure optique tout-en-un pour MEMS

L’analyseur de microstructures MSA-600 offre une flexibilité et une précision de mesures accrues. Il s'adapte aux besoins des microstructures d'aujourd'hui et de demain. Cet équipement fournit des données de réponses dynamiques et statiques 3D précises qui augmentent les performances des microstructures tout en réduisant les coûts de développement et de fabrication. Ainsi, le MSA-600 améliore et réduit les cycles de conception et simplifie l’analyse des défaillances.

La vibrométrie laser Doppler offre une mesure rapide et en temps réel avec une résolution de déplacement sub-pm. L’interféromètre à lumière blanche fournit des millions de données de surface 3D en quelques secondes. Complété par son fonctionnement simple et son interface utilisateur intuitive, le MSA-600 est la solution de mesure sans contact pour la R&D et le contrôle qualité. Compatible avec les stations sous pointes du commerce, l'analyseur de microstructures vous aide à toutes les étapes du développement - du prototypage MEMS au test et à l’analyse de défaillance- et vous aide ainsi à réduire les coûts de production et accélérer la mise sur le marché de vos composants.

Niveau de wafer et test à une seule matrice

Accessoires et composants

Accessoires optiques

A-MOB-xxxx : Objectif champ clair

Pour la mesure des vibrations hors plan et dans le plan. Grossissements disponibles : 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x et 3,6x, 10x pour les grandes distances de travail.

Trépieds, bancs d'essai, platines de positionnement

A-STD-TST-01 : Banc d'essai

Banc d'essai offrant un grand espace de travail. Avec axe z motorisé, course 200 mm.

A-STD-BAS-02 : Banc d'essai

Support rigide pour la tête du capteur. Comprend un bloc de mise au point manuelle avec une plage de déplacement de 100 mm avec un entraînement grossier et fin. Interfaces avec les tables optiques disponibles dans le commerce.

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-STD-F50 : Bloc de mise au point

Plage de déplacement 50 mm. Avec entraînement grossier et fin pour le réglage manuel de l'axe z de la tête du capteur. Interfaces avec les stations de sonde de wafer disponibles dans le commerce.

Table anti vibration, platine

A-TAB-AIR-01 : Table anti vibration active

Table anti vibration à amortissement pneumatique avec réglage actif du niveau. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.

A-TAB-ELC-01 : Table anti vibration active

Stabilisation de la bobine acoustique à commande électronique pour des performances d'isolation maximales. Compatibilité : banc d'essai A-STD-TST-01, support de base A-STD-BAS-02.

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

Breadboard avec motif de trous métrique. Empreinte 900 mm x 600 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA : Breadboard d'isolation active des vibrations

Contrôlé électroniquement des performances d'isolation vibratoire les plus élevées. Avec motif de trous métrique. Empreinte 600 x 800 mm. Compatibilité : support de base A-STD-BAS-02.

Autres

Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
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A-ESG-001 : Générateur de signaux externes

Pour l'excitation d'échantillons à large bande et à haute fréquence. Contrôlable à distance par le logiciel PSV.

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer

A-SPK-0008 : Module de sonde de Wafer

Avec l'étage de positionnement XY A-PST-200P, le module sondeur de wafer forme une plate-forme motorisée pour la mise en contact électrique et la mesure de haute précision de plaquettes et de substrats jusqu'à 200 mm de diamètre.

Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Vaccuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-SPK-0010 : Module de sonde à vide

Accessoire sous vide et ligne de purge. Micro-manipulateur pour la manipulation de quatre sondes électriques.


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