挑战与背景
HUBER+SUHNER 制造薄膜滤光片等高精度微光学元件，对这类零件而言最高品质至关重要。这些零件非常小、反射率高且名义上是平面——这一组合将传统光学显微镜推向了极限，也使得用标准工具难以捕捉其真实的表面几何形貌。为保障客户所依赖的品质，HUBER+SUHNER 需要一种能够在这些高难度零件上可靠地解析形状和高度的测量方法。
解决方案：基于 Micro.View 的白光干涉测量
HUBER+SUHNER 在 Polytec Micro.View 上采用白光干涉技术，以非接触方式表征这些元件。压电驱动的测量头进行垂直扫描，并在每一个高度步进处捕获干涉条纹图样。软件根据这些切片重建表面，并将高度信息转换为彩色编码的形貌图，可分辨低至数百纳米的变化——足以揭示显微镜会遗漏的划痕和真实表面细节。
成效
借助 Micro.View 上的非接触式白光干涉测量，HUBER+SUHNER 获得了对那些因太小、太平、反射率太高而难以用传统方法测量的元件的快速、高分辨率三维视图。这支撑了他们对最高品质的追求，为微光学生产中可靠的质量控制和更深入的工艺理解提供了可信的表面与几何数据。
HUBER+SUHNER 解读 WLI 的优势
表面计量快速入门
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