ウェハレベル

MSA-600 は、MEMS や微細構造の静的・動的な 3D 特性を測定するオールインワン光学測定ソリュー ションで、最大 8GHz まで対応します。MSA-600は、マイクロシステム開発および品質検査を強化し、市販のプローブステーションに組み込むことにより、ウェーハレベルでのテストも可能にします。

The 3D Micro System Analyzer records vibration components in all three spatial directions at once. The optical measurement system enables high-resolution 3D vibration analysis from DC up to 25 MHz with amplitude resolutions in the sub-picometer range, for both in-plane and out-of-plane vibration components.

顕微鏡型レーザドップラ振動計のエントリモデルです。他のモデルはレーザが測定物表面をスキャンするのに対し、MSA-060は電動ステージによる多点計測で、DCから24 MHzの小さな部品の表面全体の振動を非接触で測定、可視化することができます。

MSA-650 IRIS マイクロシステムアナライザ は、赤外線レーザを採用した特許取得済みの革新的な顕微鏡型レーザドップラ振動計で、測定周波数帯域は最大25 MHzで、シリコンキャップ越しにマイクロシステムを測定することができ、デバイスに接触したりデキャップすることなく、真のMEMSダイナミクスを明らかにします。

この特許取得済みの新しい測定技術は、シリコン封止されたMEMSを、シリコンキャップ越しに測定することができます。ポリテックでは、MSA IRIS を使用して、シリコンキャップ付きMEMSのモーダルテスト等の測定サービスを行っています。