Verifizierung von MEMS-Prototypen zur Prozessoptimierung

Anders als bei reinen Halbleiter-Bauelementen erfordert die Entwicklung eines neuen Mikro-Elektromechanischen Systems (MEMS) immer auch einen neuen Fertigungsprozess. Zumindest müssen Prozessbausteine überarbeitet werden, da man für neuartige mikromechanische Komponenten heutzutage noch nicht auf Standards, wie sonst in der Halbleiterentwicklung üblich, zurückgreifen kann.

Damit ein primär von mechanischen Eigenschaften bestimmtes Bauelement korrekt funktioniert, ist neben dem Systemdesign auch ein optimiertes Prozessdesign wesentlich. Die Verifikation eines Prototypen erlaubt also nicht nur die Bestätigung des Designs, sondern auch des Herstellungsprozesses. Um unerwartetes mechanisches Verhalten und Modellabweichungen zu bestimmen, ist eine leistungsfähige optische Messtechnik wie die Laser-Vibrometrie unerlässlich.

Damit Sie zuverlässig modale Eigenschaften von MEMS wie Übertragungsfunktionen, Resonanzfrequenzen, Dämpfung und Schwingformen ermitteln, ist ein Laser-Vibrometer von Polytec aufgrund großer Frequenzbandbreite, hoher lateraler Auflösung und exzellenter Amplitudenauflösung das Mittel Ihrer Wahl. Ebenfalls wichtig für Bauteilentwicklung und Prozessoptimierung ist die topographische Analyse. Aus Oberflächendaten wie Stufenhöhen und anderen Abmessungen gewinnen Sie wertvolle Informationen über aktuelle Prozessparameter, um den Herstellungsprozess von MEMS-Bauteilen sicher zu steuern.

CMOS / MEMS-co-integrierter Mikro-Strömungssensor

Die Abbildung (Copyright: Université catholique de Louvain, Belgien) zeigt eine mithilfe der Topographie-Einheit eines MSA Micro System Analyzer von Polytec durchgeführte topographische Charakterisierung eines CMOS/MEMS-co-integrierten Mikro-Strömungssensors, der als dreidimensionale Struktur mittels Silicon-on-Insulator-Technik (SOI) aufgebaut wurde.

Microstructure characterization

Ihr PolyXpert für Vibrometrie