Vérification de prototypes MEMS pour l'optimisation du processus
Contrairement aux dispositifs semi-conducteurs purs, le développement d'un nouveau système micro électromécanique (MEMS) nécessite un nouveau processus de fabrication. Les composants de processus doivent être au moins révisés, en effet, de nos jours on ne peut pas encore accéder aux normes pour les nouveaux composants micro mécaniques, comme habituellement dans le développement de semi-conducteurs.
Afin qu'une pièce déterminée principalement par des propriétés mécaniques fonctionne correctement, outre la conception du système, une conception de processus optimisée est essentielle. La vérification d'un prototype permet de confirmer à la fois la conception et le processus de fabrication. Un système optique puissant est essentiel pour déterminer un comportement mécanique imprévisible et des modifications de modèle.
Microcapteur de débit intégré CMOS/MEMS
Afin que vous puissiez déterminer en toute fiabilité des propriétés modales MEMS, des fonctions de transfert, un amortissement physique et des modes de vibrations, un vibromètre laser Polytec est l'appareil adapté, par sa grande largeur de bande de fréquence, sa haute résolution latérale et son excellente résolution d'amplitude. L'analyse topographique reste cependant importante pour le développement des pièces et l'optimisation du processus. À partir de données de surface telles que les hauteurs de marche et autres dimensions, vous obtenez des informations précieuses sur les paramètres de processus actuels, afin de gérer en toute sécurité le processus de fabrication d'éléments MEMS.
L'image illustre une caractérisation topographique réalisée à l'aide de l'unité de topographie MSA de Polytec, d'un micro capteur de débit intégré CMOS/MEMS, conçu comme structure tridimensionnelle, via la technique Silicon-on-Insulator (SOI)
Microstructure characterization
Produits associés et services
Analyseur de microstructures MSA-600
Système de mesure tout-en-un pour la caractérisation 3D statique et dynamique des MEMS et des microstructures - maintenant jusqu'à 8 GHz. Le MSA-600 améliore les processus de développement et de contrôle qualité. Intégré aux stations sous pointes disponibles dans le commerce, il permet des tests au niveau des wafer.
Analyseur de microstructures 3D MSA-100
L'analyseur de microstructures saisit simultanément des composantes vibratoires dans les trois directions spatiales. Le système de mesure optique permet une analyse vibratoire 3D à haute résolution du courant continu jusqu'à 25 MHz avec des résolutions d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre, pour les composantes vibratoires dans le plan et hors du plan.
Analyseur de microstructures MSA-060
Utilisez le MSA-060 pour entrer dans le monde de l'analyse des microsystèmes. Enregistrez et visualisez les vibrations et la dynamique de petits composants et microsystèmes avec une précision laser sur toute une surface, de DC à 24 MHz. Les analyseurs de microsystèmes utilisent des lasers de mesure qui révèlent la véritable dynamique des petits composants sans contact et de manière non invasive.
Analyseur de microstructures MSA-650 IRIS
L'analyseur de micro-systèmes innovant et breveté MSA-650 IRIS avec caméra IR dédiée et source SLD permet de mesurer la véritable dynamique des MEMS jusqu'à 25 MHz en caractérisant les mouvements dans le plan et hors du plan à travers l'encapsulation de silicium sans contact, sans qu'il soit nécessaire de préparer ni de décapsuler le dispositif.
MSA IRIS service de mesure
Cette toute nouvelle technologie de mesure brevetée permet une analyse complète et représentative des MEMS encapsulés en Si, en mesurant la dynamique à travers les bouchons en silicone. Nos PolyXperts sont impatients de recevoir vos échantillons pour des tests modaux, des études de faisabilité et vous conseiller à toutes les phases, du développement au prototypage en passant par la fabrication de vos microstructures encapsulées.
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