Vérification de prototypes MEMS pour l'optimisation du processus
Contrairement aux dispositifs semi-conducteurs purs, le développement d'un nouveau système micro électromécanique (MEMS) nécessite un nouveau processus de fabrication. Les composants de processus doivent être au moins révisés, en effet, de nos jours on ne peut pas encore accéder aux normes pour les nouveaux composants micro mécaniques, comme habituellement dans le développement de semi-conducteurs.
Afin qu'une pièce déterminée principalement par des propriétés mécaniques fonctionne correctement, outre la conception du système, une conception de processus optimisée est essentielle. La vérification d'un prototype permet de confirmer à la fois la conception et le processus de fabrication. Un système optique puissant est essentiel pour déterminer un comportement mécanique imprévisible et des modifications de modèle.
Microcapteur de débit intégré CMOS/MEMS
Afin que vous puissiez déterminer en toute fiabilité des propriétés modales MEMS, des fonctions de transfert, un amortissement physique et des modes de vibrations, un vibromètre laser Polytec est l'appareil adapté, par sa grande largeur de bande de fréquence, sa haute résolution latérale et son excellente résolution d'amplitude. L'analyse topographique reste cependant importante pour le développement des pièces et l'optimisation du processus. À partir de données de surface telles que les hauteurs de marche et autres dimensions, vous obtenez des informations précieuses sur les paramètres de processus actuels, afin de gérer en toute sécurité le processus de fabrication d'éléments MEMS.
L'image illustre une caractérisation topographique réalisée à l'aide de l'unité de topographie MSA de Polytec, d'un micro capteur de débit intégré CMOS/MEMS, conçu comme structure tridimensionnelle, via la technique Silicon-on-Insulator (SOI)
Microstructure characterization
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