Mikromechanik umfassend und präzise analysieren

Die direkte Integration mikroskopisch kleiner mechanischer Funktionseinheiten mit Halbleiterelektronik auf Siliziumebene führte zu einer Vielzahl unterschiedlichster mikromechanischer Sensoren und Aktoren und zum Siegeszug der Mikrosystemtechnik.

Die Typenvielfalt und Einsatzbereiche sind enorm. Angefangen bei MEMS-Mikrofonen, -Beschleunigungs- und Drehratensensoren für tragbare elektronische Geräte. Des Weiteren Druck- und Inertial-Sensorik für Automotive- und Aerospace-Anwendungen, vielfältigste Mikrospiegel-Elemente zur Manipulation von Licht, Energy-Harvestern für autonome Systeme und Mikrowaagen für kleinste Stoffmengen. Und schließlich pMUT- und cMUT-Wandler, um Ultraschall in der Medizintechnik zu erzeugen sowie mikroakustische Elemente wie SAWs, die zunehmend als Filterelemente, aber auch in Lab-on-A-Chip-Anwendungen eingesetzt werden. Um derartige MEMS-Bausteine zu entwickeln, muss neben elektrischer Messtechnik auch die direkte mechanische Funktion, sprich die Bewegung kleinster Siliziumkomponenten, zuverlässig und genau gemessen werden.

Bewegungen in und senkrecht zur Bauteilebene messen

Mit den mikroskopbasierten Einpunkt- oder Scanning-Vibrometern von Polytec erfassen Sie in 1D oder 3D die Auslenkungen im pm-Bereich, die Übertragungsfunktionen und Betriebsschwingformen mit hoher Frequenzbandbreite sowie die laterale Auflösung im µm- oder sub-µm Bereich. Mit dem MSA Micro System Analyzer können Sie optional auch noch die Topographie Ihres Microsystems erfassen. Ein Beispiel aus der Praxis: Der MSA-100-3D Micro System Analyzer erlaubt flächenhafte 3D-Schwingungsmessung mit Wegauflösung im pm-Bereich für sowohl Out-of-plane (OOP) als auch In-plane (IP) Komponenten, hier an einem MEMS-Cantilever. Der MSA-100-3D Micro System Analyzer erlaubt flächenhafte 3D-Schwingungsmessung mit Wegauflösung im pm-Bereich für sowohl Out-of-plane (OOP) als auch In-plane (IP) Komponenten, hier an einem MEMS-Cantilever.

Microstructure characterization

Ihr PolyXpert für Vibrometrie