Oberflächenmessgeräte für die Mikrosystemtechnik

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Die Tendenz zur Miniaturisierung funktioneller Komponenten ist nicht mehr aufzuhalten und zieht sich durch viele Branchen. Werden elektromechanische oder optische Bauteile immer kleiner, stellt dies auch die Oberflächenmesstechnik vor immer neue Herausforderungen. Die komplexen Mikrostrukturen müssen in der Regel dreidimensional mit Mikro- und Nanometer-Auflösung vermessen werden, um die Mikrosystemtechnik in ihrer gesamten Komplexität analysieren und für die Qualitätskontrolle auswerten zu können. 

Mikrostrukturen sind kleinste Gebilde, die sehr häufig bereits bei kleinsten Beschädigungen in ihrer Funktionalität eingeschränkt sind. Physikalische Einwirkungen auf die mikrosystemtechnischen Messobjekte sollten unterbleiben. Daher ist ein weiterer wichtiger Aspekt bei der Oberflächencharakterisierung im Bereich der Mikrosystemtechnik das berührungslose und damit zerstörungsfreie Prüfen der Oberflächen. Durch die optische  Messmethode ohne Verschleiß und ohne dadurch bedingten Ausschuss sind die Topografiemesssysteme von Polytec die optimale Wahl für Messaufgaben von Mikrostrukturen.

Für die präzise Prüfung der Oberflächengeometrien mit Polytec TopMap-Topografiemesssystemen spielt es keine Rolle, ob es sich um matte oder spiegelnde Mikrostrukturen handelt. Die  Polytec Smart-Surface-Scanning-Technologie erleichtert Messungen an unterschiedlich reflektierenden Bereichen eines Prüflings. Anwendungen sind beispielsweise Messungen an Mikro-Sensoren und -Aktoren, Untersuchungen an strukturierten Blechen und Laufflächen oder Analysen von menschlichen Proben für die Kosmetik- und Medizinbranche.

Taktile Verfahren nicht immer für Mikrostrukturen geeignet

Herkömmliche taktile Oberflächenmessverfahren für Komponenten der Mikrosystemtechnik sind nicht immer in der Lage, die komplexen Mikrostrukturen der miniaturisierten Teile zu erfassen. Sie verursachen einen gewissen Verschleiß, da sie mit Messobjekte berühren und eventuell Schäden hinterlassen können. Insbesondere bei Präzisionsoberflächen sind diese Beschädigungen nicht akzeptabel und führen zu unnötigem Ausschuss und damit Geldverlust für die Hersteller. 

Polytec Messgeräte für die Mikrosystemtechnik

TopMap Pro.Surf+

Dieser Alleskönner unter den optischen Oberflächenmessgeräten von Polytec ist Ihr All-in-One-System für die großflächige 3D-Messung mit einer Auflösung im Nanometer-Bereich. Hier ist die Präzision der Weißlicht-Interferometrie mit einem chromatisch-konfokalen Sensor kombiniert. Mit dem Pro.Surf+ vermessen Sie Messobjekte aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik wiederholgenau, zerstörungsfrei und auf fast allen Materialien.


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TopMap µ.Lab

Mit dem Topografie-Messystem TopMap µ.Lab ermitteln Sie Kenngrößen wie Textur, Rauheit oder Ebenheit mit Subnanometer-Auflösung. Das berührungslos arbeitende optische  Profilometer ist Ihr optimales Werkzeug für die zerstörungsfreie Vermessung von Mikrostrukturen. Dabei ist die vertikale Auflösung unabhängig von der Bildfeldgröße. Wählen Sie aus verschiedenen Objektiven für vergrößerte Arbeitsabstände, zur Glaskompensation oder weiteren anwendungsspezifischen Objektiven aus.  Dank der Smart-Surface-Scanning-Technologie prüfen Sie selbst Objekte mit unterschiedlich reflektierenden Oberflächenbereichen.

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Weitere Oberflächenparameter