用于表征和监测装置质量的精确、可靠且快速的测量技术在开发和生产微系统中起决定性作用。这一点尤其重要,因为微型传感器越来越多地用于安全相关的任务,即对可靠性和功能安全性提出很高要求的任务。强大的设计和高生产精度在这方面发挥关键作用。
应用领域微纳米技术及
MSA-600显微式激光测振仪专用于测量MEMS和显微结构,是获取三维静态特性与动态特性的一体化光学测量解决方案,其有助于加快产品开发进程,优化产品质量控制,甚至可集成至商用探针台上进行晶圆级测试。现在高达 6 GHz。
显微系统分析仪同时记录所有三个空间方向上的振动分量,能高分辨率进行面内和面外3D振动分析,其振幅分辨率在亚皮米范围内。