微型和纳米技术

用于表征和监测装置质量的精确、可靠且快速的测量技术在开发和生产微系统中起决定性作用。这一点尤其重要，因为微型传感器越来越多地用于安全相关的任务，即对可靠性和功能安全性提出很高要求的任务。强大的设计和高生产精度在这方面发挥关键作用。

应用领域微纳米技术及