Micro.View compact 3D surface roughness profiler

Micro.View – profilomètre de rugosité surfacique compact 3D

Analyse haute résolution de la rugosité surfacique, de la texture et de la microstructure avec une précision inférieure au nanomètre dans un ensemble modulaire et abordable.

Profilomètre 3D de rugosité surfacique le plus flexible avec une précision inférieure au nanomètre

Avec une plage de mesure Z étendue à 100 mm et la technologie de balayage continu CST, l'Micro.View® mesure des (micro)topographies complexes avec une résolution de l'ordre du nanomètre. Cet appareil de table pratique est équipé d'un système électronique intégré, avec le Focus Finder intelligent qui simplifie et accélère la procédure de mesure.

  • Analyse fiable de la rugosité surfacique avec une précision inférieure au nanomètre sur divers matériaux grâce à la technologie Smart Scanning
  • Champ de vision le plus large et le plus variable pour une analyse flexible de la rugosité surfacique (de 0,07 mm à 15,5 x 11,7 mm)
  • True Stitching pour une précision inégalée sur les pièces plus larges
  • Large plage de mesure Z de 100 mm avec une résolution maximale grâce à la technologie de balayage continu
  • Mesure basée sur des recettes pour les opérations répétitives
  • Conforme aux normes les plus récentes (ISO 21920 et autres)

Micro.View est spécialisé dans l'analyse haute résolution de la rugosité surfacique et de la texture, qu'il s'agisse du profilage classique « linéaire » (Ra, Rz,...) ou de l'analyse aréale (Sa, Sq,..). Pour les applications présentant des exigences accrues en matière d'automatisation, de mesures en série ou de flux de travail indépendants de l'opérateur, nous recommandons Micro.View+ avec une tourelle motorisée, un système de suivi de mise au point et des fonctions d'automatisation avancées.

0,01
nm
résolution numérique exceptionnelle
100
mm
Grand positionnement Z + plage de balayage
0,05-100
%
réflectivité de l'échantillon
Faits marquants

Profilage facile de presque tous les matériaux, de la rugosité surfacique détaillée à la forme et à la microstructure

Choisissez le profilomètre de surface le plus adapté en toute confiance grâce à notre approche « essayer avant d’acheter ».

Use our try before buy offer for surface profiler
Applications

Exemples de mesure de rugosité surfacique 3D avec Micro.View

Vous trouverez ci-dessous quelques résultats concrets obtenus à partir de tâches standard, telles que la mesure de la rugosité surfacique (Ra, Rz, Sa, Sq, etc.) et des paramètres de forme, sur des matériaux d'ingénierie courants. Ces exemples ont été recueillis par nos centres d'application qui réalisent des études de faisabilité et proposent des services de mesure contractuels.

Inspection des rayures, analyse de la rugosité surfacique des optiques et des surfaces usinées avec précision
Résolution de la texture et de la finition au niveau sub-nm - sur des surfaces polies, meulées ou rodées
Surface étagée d'un wafer
Zoom sur les microstructures et la microélectronique
Analyse de l'élément optique diffractif DOE
L'analyse tribologique révèle l'usure et la détérioration
Évaluation de la forme, de la planéité et de la hauteur d’escalier des MEMS, puces et microsystèmes

Choisissez en toute confiance la solution d'profilomètre de surface qui vous convient : demandez une démonstration de nos capacités.

Schedule your demo of our surface profilometers and software
Caractéristiques

Ensemble complet de fonctionnalités pour la rugosité surfacique en laboratoire ou en production

Avec une plage de mesure Z étendue à 100 mm et la technologie de balayage continu CST, l'Micro.View mesure des topographies complexes avec une résolution de l'ordre du nanomètre. Cet appareil de table pratique est équipé d'un système électronique intégré, et son Focus Finder intelligent simplifie et accélère la procédure de mesure.

Couture authentique - Précision accrue pour des échantillons plus larges

Les surfaces plus grandes dépassant le champ de vision d'une seule prise, le stitching permet de fusionner les tuiles en un seul ensemble de données précis. La qualité métrologique de ces mesures sur de grandes surfaces dépend de l'optique et de la technologie de détection utilisées, du nombre de tuiles et des algorithmes de stitching.

True Stitching fournit des mesures haute fidélité sur de grandes surfaces en minimisant les artefacts de stitching et en préservant la géométrie.

Une étude comparative indépendante menée par une grande université technique allemande a comparé six profilomètres optiques de différents fabricants et le profilomètre d'Polytec a démontré la meilleure qualité de stitching et de mesure. Ce résultat est obtenu grâce à diverses caractéristiques telles que :

  • Grand champ de vision en une seule prise → moins de tuiles et de joints, moins d'erreurs cumulées
  • Algorithmes de stitching sophistiqués → chevauchement contrôlé, enregistrement robuste et fusion sûre sur le plan métrologique qui préserve les marches et les bords

Le résultat est une topographie haute fidélité sur une grande surface, avec moins d'artefacts et des résidus prêts à être audités, ce que nous appelons le « True Stitching » (assemblage véritable).

Inspection de la rugosité surfacique inférieure au nanomètre avec un grand champ de vision

Champ de vision le plus large - jusqu'à 15,5 x 11,7 mm

La nouvelle lentille unique 0,6x élargit littéralement votre champ de vision : la technologie « Micro.View » permet d'analyser la rugosité surfacique, la texture de surface ou les microstructures de surface en haute résolution à l'aide d'un grossissement classique de 20x à 111x. Un simple clic avec commutation automatique de la lentille à 0,6x permet une transition fluide vers des mesures de forme ou de planéité sur de grandes surfaces. Examinez les microstructures à grande échelle sans stitching. Révélez tous les détails structurels tout en gardant un œil sur les paramètres de forme, le gauchissement ou les marches de grande surface.
CSI – interférométrie à balayage de cohérence pour une précision maximale.

Micro.View est basée sur la technologie CSI (également appelée interférométrie à lumière blanche), la norme industrielle en matière de métrologie des surfaces sans contact. Elle scanne verticalement une source lumineuse à large bande et analyse le motif d'interférence.

  • Évaluation de l'enveloppe : robuste sur les surfaces rugueuses et à faible contraste
  • Évaluation de phase : résolution subnanométrique sur des échantillons lisses et plats
  • Analyse du corrélogramme : utilisation complète du motif d'interférence pour une robustesse et une précision maximales

Cela permet de mesurer à la fois des optiques polies et des pièces techniques rugueuses avec le même système.

CST – plage Z complète de 100 mm sans perte de résolution.

La technologie de balayage continu (CST) transforme toute la plage de déplacement de 100 mm en une plage Z utilisable avec une résolution constante, indépendamment de l'objectif.

  • Prend en charge les échantillons volumineux et hauts sans repositionnement
  • Maintient la précision sur toute la plage de mesure
  • Réduit les efforts de configuration et évite le stitching ou la remise au point
ECT – données de surface 3D stables dans l'atelier.

Le bruit, les vibrations et les fluctuations de température peuvent affecter les mesures. Notre technologie de compensation environnementale (ECT) compense ces perturbations et garantit la cohérence des données, même dans les ateliers.

  • Améliore la fiabilité dans les environnements bruyants ou instables
  • Permet l'automatisation et le contrôle qualité en ligne sans isolation complète
  • Particulièrement utile pour les composants sensibles (par exemple, MEMS, films minces)
Focus Finder et gestion des recettes pour des mesures rapides et fiables

Une mise au point précise est essentielle pour la métrologie des surfaces. Grâce au Focus Finder intégré, le système détecte automatiquement le point de mise au point optimal afin de réduire le temps de configuration et de permettre des mesures fiables.

Grâce à la gestion des recettes facile à utiliser et à sélectionner et au lecteur de codes-barres en option, les mesures peuvent être sélectionnées et exécutées facilement et avec une reproductibilité.

Données techniques

Configuration modulaire et spécifications

Plage Z100 mm
(positionnement et mesure)
Résolution verticale0,01 nm
Répétabilité RMS0,05 nm
Réflectivité de l'échantillon0,05 à 100 %
Points de mesure
Pixels X-Y
1 352 000 (pixels effectifs)
1 352 x 1 000
Vitesse de mesure100 µm/s
Paramètres ISOISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287, ISO 13565, ISO 21920

Vérification de faisabilité ?

Envoyez-nous votre échantillon et nous réaliserons une étude de faisabilité à l'aide de notre profileur, puis nous vous présenterons les résultats.

Vous obtiendrez ainsi une idée précise des performances du profilomètre optique sur vos échantillons réels.

Informations connexes et téléchargements

Micro.View et Pro.Surf mesurent la rugosité surfacique - alors quelle est la différence ?

Bien que l'Micro.View prenne également en charge les mesures de forme, de planéité et de hauteur d’escalier, son principal atout réside dans l'analyse haute résolution de la rugosité surfacique et de la texture de surface.

Le Pro.Surf+ adopte une approche inverse. Ses points forts sont l'inspection de la planéité, du parallélisme et de la forme, mais il peut également effectuer des analyses de rugosité surfacique avec une résolution latérale de 2,6 µm.

Téléchargements

Please fill out the form to receive the download link via email.

Discutez de vos besoins avec nos experts

Commençons par une brève discussion sur vos pièces, vos tolérances et votre flux de travail. Si nécessaire, nous pouvons ajouter une étude de faisabilité, PolyMeasure (mesures contractuelles) ou un essai PolyRent comme étapes supplémentaires facultatives.

Schedule your surface profiler demonstration