3D optical profiler in action

Micro.View famille – profilomètres de surface 3D à microscope

Une gamme de produits modulaires pour la métrologie des surfaces 3D sans contact, de l'analyse haute résolution de la rugosité surfacique à l'inspection automatisée. Sur les métaux, les polymères, les surfaces en verre, qu'elles soient lisses ou rugueuses.

Profilomètres de surface à base de microscope pour la métrologie des surfaces de précision - avec 4 ans de garantie

Micro.View est la gamme modulaire de systèmes d'profilomètres de mesure surfacique 3D basés sur un microscope pour la rugosité surfacique, la texture de surface, les détails structurels ou les MEMS. Elle permet d'effectuer des mesures surfaciques 3D sans contact et de haute précision sur pratiquement tous les matériaux, qu'ils soient réfléchissants, sombres, transparents ou mixtes.

Les profilomètres de surface à microscope sont utilisés pour la métrologie des surfaces haute résolution et sans contact lorsque les détails fins sont importants. Dans cette catégorie, la gamme d'Micro.View s se distingue par sa robustesse, sa flexibilité et sa précision, même sur des matériaux difficiles tels que les surfaces réfléchissantes, sombres, transparentes ou mixtes.

La gamme d'instruments de métrologie des surfaces et de texture Micro.View combine l'interférométrie optique et l'optique microscopique pour répondre à un large éventail de tâches de métrologie des surfaces :

  • Analyse haute résolution de la rugosité surfacique et de la texture de surface avec une précision maximale grâce aux technologies TrueStitching et Coherrence Scanning (CSI)
  • Contrôle qualité fondé sur la répétabilité et la fiabilité, avec Focus Finder, Focus Tracker et gestion des recettes
  • Adaptation flexible à différentes tailles d'échantillons et différents matériaux grâce à la technologie Correlation Scanning (CST), TrueStitching et une large gamme d'objectifs
  • En laboratoire ou en production grâce à la technologie Environmental Compensation Technology (ECT)
3D surface profile lenses

Équipé d'une tourelle automatisée et de cinq objectifs maximum (0,6x/10x/20x/... 111x), l'Micro.View fournit des détails riches avec une résolution verticale allant jusqu'à 0,01 nm. Exploitez pleinement le positionnement Z de 100 mm comme plage de balayage couvrant des caractéristiques microscopiques à des échantillons plus grands.

Grâce à la fonction True Stitching inégalée, il est possible d'effectuer des mesures de haute précision sur des échantillons plus larges sans sacrifier la précision.

Les platines motorisées/manuelles (75/100/200 mm) avec inclinaison/basculement et la fonction True Stitching inégalée permettent d'effectuer des mesures de haute précision sur des zones plus grandes sans sacrifier la précision.

Cette modularité fait de l'Micro.View, l'interféromètre à lumière blanche extrêmement précis et flexible pour la mécanique de précision, l'optique ou les microstructures, de la recherche au contrôle qualité.

La précision, la robustesse et la flexibilité qui en résultent font de l'Micro.View un excellent choix pour des applications telles que l'ingénierie de précision, l'optique et les composants optiques, les semi-conducteurs et la microélectronique, les MEMS et les microsystèmes, la recherche sur les matériaux et la tribologie, tant en laboratoire que dans des environnements orientés vers la production.

Quelques faits importants

0.01
nm
résolution verticale exceptionnelle
100
mm
course Z utile et plage de balayage
0.6 - 111x
objectifs
pour toutes les exigences de mesure
Produits

Quel est le profilomètre de surface le plus adapté à l'Micro.View?

Micro.View profiler
Micro.View

Profilomètre de surface compact basé sur un microscope pour une précision maximale.

  • Système économique
  • Large gamme d'objectifs pour des tâches spécifiques
  • Faible encombrement sur table
  • ECT en option pour des résultats stables

Idéal pour la fabrication de précision, les laboratoires de R&D, les tâches de développement et l'inspection de surface de haute précision en ingénierie.

Micro.View+ profiler
Micro.View+

Ajoute l'imagerie couleur au profileur Micro.View. Pour plus d'informations et la possibilité d'exécuter des flux de travail automatisés, indépendants de l'opérateur.

  • Platines entièrement motorisées avec Focus Tracker
  • Gestion des recettes QC pour un fonctionnement sans surveillance
  • Prend en charge les échantillons volumineux/hauts (jusqu'à 370 mm)
  • Ajoute des informations de couleur pour une meilleure visualisation
  • Capacité de mesure en ligne et hors ligne

Le meilleur choix si l'imagerie couleur est nécessaire et que les capacités d'automatisation sont importantes.

Profilomètre de surface - comparaison factuelle

CaractéristiqueMicro.ViewMicro.View+
RésolutionSub-nmSub-nm
Couture véritable de stitchingOuiOui
Hauteur de l'échantillonJusqu'à 100 mmJusqu'à 370 mm (avec support)
PlatinesÉtages manuels et motorisés (20, 75, 100 mm)
Inclinaison/basculement manuel et motorisé
Motorisé 200 x 200 mm
Inclinaison/basculement automatique
Visualisation
Données de hauteur 3D (arc-en-ciel inversé)
Données de hauteur 3D (arc-en-ciel inversé)
Mode d'information couleur en option matérielle
Objectifs0,6x à 111x, y compris longue distance de travail0,6x à 111x, y compris longue distance de travail
AutomatisationRecettes de mesure
Positionnement
Advanced Focus Finder
(Tourelle manuelle)


des recettes de mesure
Positionnement
Advanced Focus Finder Tourelle motorisée (et manuelle)
Boucle fermée avec Focus Tracker
Intégration en ligne de la tête uniquement
En savoir plusDétails sur Micro.ViewDétails Micro.View+
Applications

Profilométrie de surface — pour l'ingénierie de précision, l'optique, les microsystèmes

Vous trouverez ci-dessous les résultats réels obtenus à partir de tâches standard de profilométrie de surface 3D (rugosité surfacique, planéité, hauteur d’escalier, texture et tribologie) sur des matériaux d'ingénierie courants. Ces exemples proviennent de nos centres d'application, qui réalisent des études de faisabilité et des mesures sous contrat pour nos clients.

Roughness measurement of polished surface with 3D surface profiler
Inspection des rayures, analyse de la rugosité surfacique des optiques et des surfaces usinées avec précision
Rugosité surfacique résolue à un niveau inférieur au nanomètre
wafer topography measured by microscope-based 3D surface profiler
Mesure de wafer
Zoom in microstructure
Microstructures et microélectronique
Analysis of diffractive optical element
Analyse de l'élément optique diffractif DOE
tribology analysis with 3D optical surface profiler
L'analyse tribologique révèle l'usure et la détérioration
MEMS topography with microscope-based profilometer
Évaluation des paramètres de forme des MEMS, ici un capteur de pression MEMS

Choisissez en toute confiance la solution d'profilomètre de surface qui vous convient : demandez une démonstration de nos capacités.

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Caractéristiques

Fonctionnalités intégrées pour une haute précision et des flux de travail efficaces, même dans des environnements difficiles

Les fonctionnalités de nos profilomètres optiques 3D de surface basés sur un microscope sont conçues pour mesurer des composants de précision et des détails de surface fins, que ce soit en laboratoire ou en production :

  • Interféromètre à balayage cohérent CSI pour une précision maximale
  • Analyse fiable de la rugosité surfacique avec une précision inférieure au nanomètre sur divers matériaux grâce à la technologie Smart Scanning
  • Champ de vision le plus large et le plus variable pour une analyse flexible de la rugosité surfacique (de 0,07 mm à 15,5 x 11,7 mm)
  • True Stitching pour une précision inégalée sur les pièces plus larges
  • Large plage de mesure Z de 100 mm avec une résolution maximale grâce à la technologie de balayage continu (CST)
  • Mesure basée sur des recettes avec Focus Finder pour les opérations répétitives
  • Conforme aux normes les plus récentes (ISO 21920 et autres)
  • Workflows indépendants de l'opérateur avec X/Y/Z motorisés, inclinaison/rotation, tourelle codée et Focus Tracker
  • Prêt pour une automatisation complète grâce à une intégration étroite avec une conception modulaire et des interfaces

La précision, la robustesse et la flexibilité qui en résultent font de l'Micro.View l'outil idéal pour les équipes qui ont besoin de données de surface 3D traçables et de répétabilité sans configuration compliquée ni contraintes environnementales.

Micro.View surface profiler
CaractéristiqueMicro.ViewMicro.View+
RésolutionSub-nmSub-nm
Couture véritable de stitchingOuiOui
Hauteur de l'échantillonJusqu'à 100 mmJusqu'à 370 mm (avec support)
Platines motoriséesNonOui
Imagerie couleurNonOui, caméra 5 MP
(en option)
Recettes / AutomatisationNon / ManuelSemi-manuel à entièrement automatisé
Cas d'utilisation typiquesTâches de mesure faciles à utiliser, de haute précision et polyvalentesMicro.View s avec ajouts :
- imagerie couleur nécessaire
- échantillons plus élevés
- tâches de mesure répétitives
Lien vers votre produitDétails Micro.ViewDétails sur Micro.View+

Vérification de faisabilité ?

Envoyez-nous votre échantillon et nous réaliserons une étude de faisabilité à l'aide de notre profileur, puis nous vous présenterons les résultats.

Vous obtiendrez ainsi une idée précise des performances du profilomètre optique sur vos échantillons réels.

Informations connexes

Différence entre le profilomètre de rugosité surfacique Micro.View et Pro.Surf+

Bien que l'Micro.View prenne également en charge les mesures de forme, de planéité et de hauteur d’escalier, son principal atout réside dans l'analyse haute résolution de la rugosité surfacique et de la texture de surface.

Le Pro.Surf+ adopte une approche inverse. Ses points forts sont l'inspection de la planéité, du parallélisme et de la forme, mais il peut également effectuer des analyses de rugosité surfacique avec une résolution latérale de 2,6 µm.

Discutez de vos besoins avec nos experts

Commençons par une brève discussion sur vos pièces, vos tolérances et votre flux de travail. Si nécessaire, nous pouvons ajouter une étude de faisabilité, PolyMeasure (mesures contractuelles) ou un essai PolyRent comme étapes supplémentaires facultatives.

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