MEMSの信頼性と寿命のテスト

MEMSセンサおよびアクチュエータは、多くのデバイスおよびシステムにおいて重要な機能要素であり、近年は安全性を担う機能を持ったデバイスやシステムに多く利用されています。したがって、さまざまな条件下における動作保証が必要です。

つまり、求められる条件下においてMEMSコンポーネントの動作検証が行われなければなりません。圧力負荷または空間湿度の影響をシミュレートするためには、真空チャンバまたは気圧制御チャンバ内で、機械振動またはレーザ放射などが与えられます。長期機能安定性は、加速劣化試験で検証されています。

MEMSは、従来の半導体素子とは異なり、重要な機能要素としてマイクロメカニクスを使用するため、信頼性および耐用期間のテストにおいて動的機械的システムの挙動を測定することは、非常に重要です。

Polytec 技術誌

Exciting vibration
Precision vibrometry on a self-excited, multi-cantilever MEMS structure

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真空チャンバ内でのMEMSの振動測定

ポリテックのマイクロシステムアナライザは、このような条件下においても測定をすることができる汎用性の高いシステムです。長い測定距離の特殊なレンズを装備することにより、テストチャンバの外部から、MEMSコンポーネントの静的および動的挙動を測定することもできます。

真空チャンバ、または、真空プローブステーションを組み合わせることによって、ポリテックのマイクロシステムアナライザMSAは、圧力がMEMSモジュールの動的特性に及ぼす影響をウェハレベルで測定することができます。

Microstructure characterization

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