Pro.Surf – 品質管理用大面積光学プロファイラー

→ 高さと奥行き全体で形状精度を維持

トレーサブルに校正されたWLI/CSIは、ナノメートル単位の垂直解像度を持つ非接触式3D領域データを提供します。テレセントリック光学方式によりビーム/光線が光軸と平行に保たれ、高さ方向で一定の倍率と均一な照明を維持。穴内測定も可能です。

• 非接触・再現性・高速な面スキャン
• 平滑面・粗面用の位相/エンベロープ評価
• 可変反射率に対応したスマート表面/適応型スキャン
• 長寿命525nm LED

→ トゥルー・スティッチングは広範囲のサンプルをスキャンする際に比類のない精度を提供します

より大きな表面は単一ショットの視野を超えるため、スティッチングにより複数のタイルを1つの正確なデータセットに統合します。このような広域測定の計測品質は、光学系とセンシング技術、タイル数、スティッチングアルゴリズムに依存します。

True Stitchingはスティッチングアーティファクトを最小限に抑え、形状を保持することで高精度の広範囲測定を実現します。

ドイツの主要技術大学による独立ベンチマークでは、異なるメーカーの6台の光学プロファイラーを比較し、Polytec プロファイロメーターが最高のスティッチング品質と測定精度を示しました。これは以下の主要機能によって実現されています：

• 広いシングルショット視野（FoV）→ タイル数と継ぎ目の削減、累積誤差の低減
• 高度なスティッチングアルゴリズム → 重複領域の制御、堅牢な位置合わせ、段差やエッジを保持する計測安全なブレンド処理
• Pro.Surf向け：テレセントリック/CSI光学系と相関グラム評価 → タイル間での安定した幾何形状と高さ忠実度

その結果、アーティファクトが少なく監査対応可能な残差を備えた高精度・大面積地形図が実現されます。これが我々が「True Stitching（真のスティッチング）」と呼ぶものです。

→ ステッチングとサイクル時間を削減

Pro.Surfは最大44.9×33.8mm（約191万点）の広視野単一撮影を実現。これにより広範囲なサンプルや複数部品を1回の撮影で測定可能。内蔵スティッチング機能により、測定範囲は約228×221mmまで拡張。

• 複数サンプルの同時測定が可能；自動サンプル認識機能搭載
• サイクルタイム短縮；スティッチング作業の軽減

→ 実際の現場環境で結果を安定化

騒音、振動、温度変動は測定値に影響を及ぼす可能性があります。ECTはこうした妨害要因を補正し、現場環境においても一貫したデータを保証します。

• 騒がしい環境や不安定な環境での信頼性を向上
• 完全な隔離なしでの自動化とインラインQCを実現
• 特に微細部品（例：MEMS、薄膜）に有効

→ 無人での繰り返し可能な測定を実現

モジュール設計と電動化オプションにより、Pro.Surfプロファイル計を既存プロセスや機械に容易に自動化・統合できます。豊富な機能群により、高効率で無人化された計測ワークフローを実現：

• パターンマッチングとスマートスキャン技術
• 電動式X/Y/Z軸ステージ、ティップ/ティルトステージ
• 広視野角と自動スティッチングによる大面積高解像度スキャン
• オペレーターに依存しないワークフローを実現するTMS（ソフトウェア）内のレシピシステム
• 可動部なしの堅牢設計と環境補償技術（ECT）

部品をテンプレートに対して検出・位置決めするマシンビジョンのルーチン。これによりレシピが正しい位置に適用される（部品が移動・回転した場合でも）。トレイや複数サンプル処理に最適。自動サンプル認識と組み合わせることで治具使用を削減可能。

反射率/コントラストの変化に適応する取得モードにより、1回の設定で「ほぼあらゆる表面」を確実に測定可能。TopMap ソフトウェアに標準搭載。