MSA-600 Micro System Analyzer

3D Dynamik und Topografie von Mikrosystemen und MEMS messen

3D Dynamik und Topografie von MEMS

Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen.

Die optische Messstation für die Mikrosystemtechnik

Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert die Topografie sowie in-plane und out-of-plane Bewegungen. Mit höchster Genauigkeit geht es flexibel auf die Anforderungen und Prüfaufgaben moderner und zukünftiger Mikrostrukturen ein. Der Micro System Analyzer liefert präzise dynamische wie statische 3D Messdaten um Komponenten mit hoher Performance effizient zu entwickeln und zu produzieren. Der MSA-600 verkürzt den Designzyklus, erleichtert die Fehleranalyse und erhöht die Ausbeute in der Halbleiterfertigung.

Das Laser-Doppler-Vibrometer ermittelt unmittelbar das Echtzeit-Verhalten mit Wegauflösungen im sub-pm Bereich. Das integrierte Weißlicht-Interferometer liefert Millionen von 3D-Oberflächenmessdaten binnen weniger Sekunden. Mit intuitiver Bedienung stellt es eine leistungsfähige Komplettlösung für Forschung, Entwicklung und Produktion dar. Kompatibel mit gängigen Probe Stations begleitet der Micro System Analyzer die Entwicklung in jeder Phase – vom Prototypenbau über Qualitätssicherung bis Troubleshooting – und stellt somit die Kosteneffizienz sicher für zielgenaue Markteinführungen.

Wafer-Level and Single-Die Testing

Zugehörige Anwendungsbereiche Vibrometrie

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