Dynamik und Topografie von MEMS berührungslos messen

Beim Testen und Entwickeln von Mikrostrukturen wie MEMS-Bauelementen (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind Topografiemessungen sowie die Visualisierung der Dynamik unerlässlich – ob zur Validierung von FE-Berechnungen, um Übersprecheffekte zu ermitteln oder um Oberflächenverformungen sichtbar zu machen. Der MSA-600 Micro System Analyzer als all-in-one optische Messstation charakterisiert sowohl die Topografie als auch in-plane und out-of-plane Bauteilbewegungen.

Die Varianten MSA-600-M/V decken Frequenzbereiche bis zu 25 MHz ab - ideal geeignet für MEMS wie MEMS-Mikrofone und andere Mikrosysteme. Die Varianten MSA-600-X/U decken den hohen und sehr hohen Frequenzbereich bis 2,5 GHz ab - perfekt zur Validierung von HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Filtern wie SAW-Filter, BAW-Filter und mehr.

PREMIERE
Das MSA-600-S ist das weltweit erste Laservibrometer für den Superhochfrequenz-Bereich (SHF) mit bis zu 6 GHz Echtzeit-Schwingungsmessung und 3D-Topografiemessung. Diese spezielle SHF-Messlösung ist ideal für die hochpräzise Erfassung des realen Schwingverhaltens an GHz MEMS wie beispielsweise FBAR (Film Bulk Acoustic Resonators), BAW (Bulk Acoustik Wave) oder SAW (Surface Acoustic Wave) Filter.

Highlights

  • All-in-one optische Messstation für Mikrostrukturen
  • Echtzeit-Response Schwingungsmessung ohne Post-Processing
  • Varianten MSA-600-M/V mit bis zu 25 MHz
  • Varianten MSA-600-X/U mit bis zu 2,5 GHz

NEU MSA-600-S mit bis zu 6 GHz

  • Unerreichte sub-pm Wegauflösung
  • Schnelle Datenerfassung und Visualisierung der Schwingform
  • Intuitive Bedienung
  • Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations
  • Import- und Exportfunktionen zur Modellvalidierung

Die optische Messstation für die Mikrosystemtechnik

Der MSA-600 Micro System Analyzer prüft Mikrosystemtechnik mit höchster Genauigkeit und lässt sich flexibel auf die Anforderungen und Prüfaufgaben moderner und zukünftiger Mikrostrukturen anpassen. Der Micro System Analyzer liefert präzise dynamische wie statische 3D Messdaten um Komponenten mit hoher Performance effizient zu entwickeln und zu produzieren. Der MSA-600 verkürzt den Designzyklus, erleichtert die Fehleranalyse und erhöht die Ausbeute in der Halbleiterfertigung.

Das Laser-Doppler-Vibrometer ermittelt unmittelbar das Echtzeit-Verhalten mit Wegauflösungen im sub-pm Bereich. Das integrierte Weißlicht-Interferometer liefert Millionen von 3D-Oberflächenmessdaten binnen weniger Sekunden. Mit intuitiver Bedienung stellt es eine leistungsfähige Komplettlösung für Forschung, Entwicklung und Produktion dar. Kompatibel mit gängigen Probe Stations begleitet der Micro System Analyzer die Entwicklung in jeder Phase – vom Prototypenbau über Qualitätssicherung bis Troubleshooting – und stellt somit die Kosteneffizienz sicher für zielgenaue Markteinführungen.

Spezialisierte SHF Lösung bis 6 GHz für GHz MEMS

Der MSA-600-S ist ein spezialisiertes optische Messsystem zur Echtzeit-Analyse des wahren Schwingverhaltens von Mikrosystemen und MEMS bis zu 6 GHz sowie der Oberflächencharakterisierung und Auswertung der Formparameter! Das MSA-600-S unterstützt die Entwicklung von GHz-MEMS und GHz Resonatoren, bietet eine verlässliche optische Qualitätskontrolle anhand von Formparametern sowie die Prüfung der Performance und Zuverlässigkeit der Mikrobausteine. Ideal zum Prüfen von Bauteilen im Superhochfreqeunz-Bereich (SHF) wie beispielsweise FBAR (Film Bulk Acoustic Resonators), und andere Hochfrequenz-Resonatoren.

Wafer-level and single-die testing

Zubehör

Optisches Zubehör

Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers
Bright field objectives for Polytec Micro System Analyzers

A-MOB-xxxx Hellfeldobjektive

Für Schwingungsmessung. Verfügbare Vergrößerungen: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x sowie 3.6x und 10x für lange Arbeitsabstände.

Stative, Teststände, Verstelleinheiten

Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler
Portal stand for MSA Micro System Analyzer and TopMap 3D surface profiler

A-STD-TST-01 Portalstativ

Stativlösung mit besonders großem Arbeitsraum mit Motorisierter z-Achse, Verfahrweg 200 mm.

A-STD-BAS-02 Basisstativ

Stabile Stativlösung inklusive manuellem Fokussiertrieb mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 100 mm. Kompatibel mit handelsüblichen optischen Tischen.

Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Focus block for microscopic observations and measurements of MEMS with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-STD-F50 Fokusblock

Manuelle Fokussierung mit Grob- und Feintrieb, Verfahrweg 50 mm. Zur Ankopplung des Messkopfes an handelsübliche Wafer Probe Stations.

Schwingungsisolierung, Optische Tische

Active vibration isolation table
Active vibration isolation table

A-TAB-AIR-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch

Mit Luftdämpfung und aktiver Niveauregulierung. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.

Active electronically controlled vibration isolation table
Active electronically controlled vibration isolation table

A-TAB-ELC-01 Aktiv schwingungsgedämpfter Tisch

Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Passend für A-STD-TST-01 Portalstativ und A-STD-BAS-02 Basisstativ.

Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec
Breadboard for optical testing of MEMS and microstructures with MSA Micro System Analyzers from Polytec

A-BBO-ME02 Breadboard

Mit metrischen Gewindebohrungen. Grundfläche 900 mm x 600 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.

Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec
Breadboard for optical MEMS testing with a MSA Micro System Analyzer from Polytec

A-AVI-MELA Aktiv gedämpftes Breadboard

Mit metrischen Gewindebohrungen. Elektronisch geregelt für besonders hohe Anforderungen. Grundfläche 600 mm x 800 mm. Passend für A-STD-BAS-02 Basisstativ.

Weiteres Zubehör

Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Signal generator for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-ESG-001 Externer Signalgenerator

Zur hochfrequenten, breitbandigen Anregung des Messobjektes. Fernsteuerbar durch PSV Software.

Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer
Probe station for wafer level testing of MEMS and microstructures with a Polytec MSA Micro System Analyzer

A-SPK-0008 Wafer-Prober-Modul

Das Wafer-Prober-Modul bildet zusammen mit dem XY-Positioniertisch A-PST-200P eine motorisierte Plattform für die elektrische Kontaktierung und hochpräzise Vermessung von Wafern und Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser.

Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers
Vacuum chamber for microstructure analysis with Polytec MSA Micro System Analyzers

A-SPK-0010 Vakuum-Prober-Modul

Vakuum- und Entlüftungsleitungen. Mikromanipulator für die Handhabung von vier elektrischen Prüfspitzen.


Ihr PolyXpert für Vibrometrie