Messen mit der passenden Konstantstromquelle
Die nachfolgenden Testgeräte wurde speziell für Vier-Spitzen-Widerstandsmessungen entwickelt und bieten unterschiedliche Messbereiche.
Testgerät RM3000+
Polytec bietet das RM3000+ für die Durchführung von Vier-Punkt-Messungen an. Das Gerät liefert konstante Ströme zwischen 10 nA und 100 mA und misst Spannungen von 0,001 mV bis 1000 mV messen.
Für Flächenwiderstandsmessungen wird der Bereich von 1 mΩ2 bis 1 x 108 Ω2 angegeben. Messungen außerhalb dieses Bereichs sind mit geringerer Genauigkeit möglich.
Für Messungen des Volumenwiderstands liegt der angegebene Bereich bei 1 mΩ.cm bis 1 x 106 Ω.cm. Messungen außerhalb dieses Bereichs sind möglich, hängen aber von der Art der Probe ab, z. B. ob es sich um eine dünne Schicht oder eine Volumenprobe handelt.
Auswahl der Einheit
Die Messwerte können auf dem Bildschirm in mV, Ω2, Ω.cm oder Ω ausgegeben werden. Es besteht die Möglichkeit, entweder den Sondenabstand oder die Waferdicke einzugeben, so dass die Ω.cm-Werte automatisch berechnet und angezeigt werden.
Schnittstelle und Software
Das RM3000+ kann entweder über USB oder RS-232 mit einem Computer verbunden werden. Der Kunde kann das Gerät über die Tastatur, eine Terminal-Emulationssoftware wie "HyperTerminal" oder mit der kostenlosen beiliegenden Software bedienen.
| Merkmal | Wert |
| Messbereich | 1 mΩ2 - 100 MΩ2, 1 mΩ.cm - 1 MΩ.cm |
| Einheiten | mV, Ω2, ohm.cm (Wafer), ohm.cm (Volumen), ohms |
| Onboard-Speicher | 50 zeitgestempelte Messungen |
| Software | Für Bedienung und Datenkontrolle wird kostenlos mitgeliefert |
| Autorange | Bestimmt die geeigneten Stromeinstellungen |
| Strom | 10 nA - 100 mA. Umkehrbar zur Überprüfung von Kontakt und Messung |
| Genauigkeit | besser als 0,1 % gegen Widerstände für 100 nA und größer |
| Anschlüsse | USB oder RS-232 |
| Korrektur | Möglichkeit der Eingabe eines Korrekturfaktors zur Anpassung der angezeigten Messwerte |
| Ohm.cm | Möglichkeit der Eingabe des Sondenabstands oder der Waferdicke zur automatischen Berechnung |
Testgerät ResTest
Das ResTest ist Konstantstromquelle und Digitalvoltmeter mit Farbbildschirm. Es liefert konstante Ströme zwischen 1 μA und 10 mA und misst Spannungen von 0,04 mV 4000 mV.
Der Gerät hat einen Messbereich von 10 mΩ2 bis 1 MΩ2 oder 10 mΩ.cm bis 10.000 Ω.cm. Messungen außerhalb dieses Bereichs sind je nach Art der Probe möglich, können aber die Genauigkeit verringern. Die Messwerte werden direkt in mV, Schichtwiderstand und Volumenwiderstand angezeigt und können auf dem System oder auf einem Memorystick gespeichert werden.
Testgerät HM21
Das HM21 wurde für die Durchführung von Vier-Spitzen-Messungen entwickelt. Das Gerät hat sechs Konstantstromeinstellungen zwischen 100 nA und 10 mA, und misst Spannungen von 0,01 mV bis 1250 mV.
Für Flächenwiderstandsmessungen wird der Messbereich mit 1 Ω2 bis 10 MΩ2 angegeben. Messungen außerhalb dieses Bereichs sind mit verringerter Genauigkeit möglich.
Für Messungen des Volumenwiderstandes liegt der angegebene Bereich zwischen 10 mΩ.cm bis 10 kΩ.cm. Messungen außerhalb dieses Bereichs sind möglich, hängen aber vom Probentyp ab, z. B. ob die Probe eine dünne Schicht ist.
Auswahl der Einheit
Die Messungen können auf dem Bildschirm in mV oder Ω2 angezeigt werden.
Schnittstellen und Software
Das HM21 kann über eine USB-Verbindung an einen Computer angeschlossen werden. Der Kunde kann das Gerät mit der Tastatur, einer Terminal-Emulationssoftware wie „HyperTerminal“ oder mit der mitgelieferten kostenlosen Software bedienen.
| Merkmal | Wert |
| Messbereich | 1 Ω2 - 10 MΩ2, 10 mΩ.cm - 10 KΩ.cm |
| Einheiten | mV, Ω2 |
| Onboard-Speicher | 50 Messungen |
| Software | Für Betrieb und Datenkontrolle, wird kostenlos mitgeliefert |
| Strom | 100 nA - 10 mA. Umkehrbar zur Überprüfung von Kontakt und Messung |
| Genauigkeit | 0,5 % über den gesamten Bereich gegen Widerstände, besser als 0,2 % im mittleren Bereich |
| Anschlüsse | USB |