電子部品や小型コンポーネントの振動測定
マイクロマシンやMEMS、電子部品などの微小構造体は、その大きさゆえに振動測定そのものが大きな課題となっています。その中でもメソコンポーネントと呼ばれる、㎜2単位の構造体は、より大きなシステムに組み込まれることが多く、以下のような、重要なコンポーネントがその代表例となります。
- スマートフォンのカメラモジュール
- プリント基板上のセンサとアクチュエータ
- ボンディングワイヤなどの接続要素
- 顕微鏡の視野に収まらない大きさのMEMSまたMOEMSコンポーネント
- 昆虫や昆虫の一部などの生物学的構造
- 補聴器(外付けもしくは埋め込み型)
- 超音波チップやブレードなど外科用器具
- 車載用電子部品
機器の小型軽量化やモビリティ性能向上のために、これらのコンポーネントの動特性評価は、近年、ますます重要度が上がっています。
レーザドップラ振動計なら高精度に非接触で測定できます
メソコンポーネントに分類されるような、電子部品、MEMS、医療デバイスなど、小型軽量な構造体の測定は、レーザドップラが最も得意とするところです。レーザドップラ振動計は、測定周波数帯域がDCからGHzまでと広く、振動モード・周波数応答を測定し、解析結果の検証ができます。共振周波数、インパルス応答、減衰特性といった一般的な動特性の測定が簡単にできます。
また高速度カメラとは異なり、測定面に対して垂直方向の運動を非常に高精度で測定できます。
ポリテックのメソコンポーネント測定用ソリューション
VibroScan QTecなどのスキャニングレーザ振動計は、基本的な光学構成においてcm²からm²の範囲の測定対象物に最適化され、汎⽤性の高い全視野振動計として設計されています。さらに、適切な光学オプションを使⽤することで、スキャン範囲をメソレンジやマイクロレンジまで拡張できます。
クローズアップユニット
(同軸ユニット)
PSV-A-X10 クローズアップユニットはカメラの視野中心とレーザ照射軸を同軸にするユニットです。これにより視差のない測定が可能になります。
さらにマイクロスキャンレンズを先端に装着することで、視野の拡大とレーザスポット径を縮小させることでき、より高倍率で測定することが可能です。このレンズの特長は、スキャニング測定であっても、レーザビームを対象物に平行に照射できることです。この特長により鏡面体であってもしっかりと反射光を受け取り、良好な測定結果を得る事ができます。
対物レンズ用アダプタ
PSV-A-711 Microscope Extensionは顕微鏡用対物レンズをクローズアップユニットに装着するためのアダプタです。スキャニング範囲は制限されますが、マイクロスキャンレンズよりさらに高倍率が必要な場合に有効です。
同軸LED照明を内蔵することで、最高の画質を実現し、様々な倍率の顕微鏡用対物レンズを使用可能にします。
10倍対物レンズの場合、レーザスポット径を2umまで縮小できます。
被写界深度と層分離の話
開口数(NA)の選択は測定時の特性に直接影響を与えるため重要です。
| NAが小さい | NAが大きい |
被写界深度が深く、凹凸のある表面に適している
| 被写界深度が浅く、高さによる構造体の分離が容易 (基板とその上の構造体などを分離) |
多層体の測定などでは、基板からの反射光により測定データのS/N比を下げたり、基板の振幅を測定してしまうことがあります。
スキャニング振動計の新たなスタンダード
VibroScan QTecラインナップ
VibroScan QTecは2025年グッドデザイン賞を受賞しました。
VibroScan QTec Xtra
VibroScan QTec Xtraは、振動を非接触、全視野、前例のない精度で測定する新しいソリューションです。画期的なマルチパス干渉計を備えたQTec® は、光学感度と干渉耐性の点で新しいスタンダードを確立しました。赤外線 (SWIR) レーザーをベースとするXtra は、最高の光学感度を特徴としており、要求の厳しい技術的表面でも高精度の測定を保証します。VibroScan QTec Xtraは、最大32MHzの信号発生器を内蔵しつつも、統合されたデータ取得により最大限の携帯性を保証します。
VibroScan QTec Xtra 3D
VibroScan QTec Xtra 3Dは、非接触、全視野、高精度で三軸振動測定ができる新しいソリューションです。画期的なマルチパス干渉計を備えたQTec® は、光学感度と干渉耐性の点で新しいスタンダードを確立しました。赤外線 (SWIR) レーザーをベースとするXtra は、最高の光学感度を特徴としており、要求の厳しい技術的表面でも高精度の測定を保証します。VibroScan QTec Xtra 3Dは、最大32MHzの信号発生器を内蔵しつつも、統合されたデータ取得により最大限の携帯性を保証します。
VibroScan QTec Neo
VibroScan QTec Neoは、振動を非接触、全視野、前例のない精度で測定する新しいソリューションです。ポリテックは世界で初めて赤外線SWIRレーザから可視光のヘリウムネオンレーザへ、QTec®テクノロジーの拡張に成功しました。レーザスポットが小さい高精度ヘリウムネオンレーザは、微細構造の測定や水中または水中を透過しての測定に適しています。QTec®は常に安定した測定と最高の信号対雑音比を提供します。VibroScan QTec Neoは、最大32MHzの信号発生器を内蔵しつつも、統合されたデータ取得により最大限の携帯性を保証します。
予算に縛られず、必要な計測を。
PolytecのPolyFlexは、振動計測・速度計測・表面計測向けの測定システムを、レンタル、リース、または測定サービスとして柔軟にご利用いただける仕組みです。
スケジュールや予算を妥協することなく、必要な結果を、必要な形で。