MEMS dynamic response, fully revealed
- Laser Doppler vibrometry enables real-time vibration measurement of MEMS
- Sub-picometer displacement of resolution up to 8 GHz
- Full-field characterization of motion and dynamic behavior beyond electrical testing
Surface structure of MEMS, precisely measured
- Non-contact optical metrology measures form, roughness, and surface topography
- Coherence scanning interferometry captures millions of height data points within seconds
- Reliable characterization of MEMS and microstructures across many materials and surfaces
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Solutions for MEMS testing using Laser Vibrometry
March 24, 2026 at 11 AM PST
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Analyseur de microstructures MSA-600
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Analyseur de microstructures MSA-650 IRIS
L'analyseur de micro-systèmes innovant et breveté MSA-650 IRIS avec caméra IR dédiée et source SLD permet de mesurer la véritable dynamique des MEMS jusqu'à 25 MHz en caractérisant les mouvements dans le plan et hors du plan à travers l'encapsulation de silicium sans contact, sans qu'il soit nécessaire de préparer ni de décapsuler le dispositif.
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Analyseur de microstructures MSA-060
Utilisez le MSA-060 pour entrer dans le monde de l'analyse des microsystèmes. Enregistrez et visualisez les vibrations et la dynamique de petits composants et microsystèmes avec une précision laser sur toute une surface, de DC à 24 MHz. Les analyseurs de microsystèmes utilisent des lasers de mesure qui révèlent la véritable dynamique des petits composants sans contact et de manière non invasive.
Micro.View
TopMap Micro.View® est un profilomètre optique facile à utiliser, présenté sous la forme d'un appareil compact de table. Choisissez Micro.View® comme outil d'inspection économique pour examiner les surfaces usinées avec précision jusqu'à l'échelle subnanométrique, afin d'inspecter la rugosité, les microstructures et d'autres détails de surface.
Micro.View+
Profilomètre de surface avancé basé sur un microscope, avec automatisation et imagerie couleur. Micro.View+ permet une analyse répétable et indépendante de l'opérateur de la rugosité et de la texture, prête à l'emploi en laboratoire et en production.
Dynamic MEMS characterization
Active micro-electromechanical components—such as MEMS actuators and sensors—require advanced measurement technology because electrical testing alone cannot fully reveal their mechanical behavior. Polytec’s MSA Micro System Analyzers provide comprehensive characterization of microsystems by combining high-resolution surface topography with precise measurement of dynamic motion.
Using laser Doppler vibrometry, MSA systems capture micro-scale vibrations and resonances across a broad frequency range up to the GHz level. Engineers can visualize full-field mode shapes with exceptional displacement resolution and true phase information—ideal for design validation, performance optimization, and failure analysis.
With patented IRIS technology, Polytec systems can even measure MEMS dynamics through intact silicon encapsulation, allowing engineers to test devices in their final packaged state without modification. This enables faster development cycles, deeper insight into device behavior, and greater confidence in MEMS performance.
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Static topography measurement of microstructures
Ensure the performance and reliability of MEMS and microstructures with fast, non-contact surface metrology. Because microscopic structures are extremely sensitive, traditional contact measurement methods can alter or damage the sample. Polytec’s optical measurement solutions enable non-destructive surface characterization, allowing engineers to accurately evaluate form, roughness, and structural features without influencing the device.
Polytec TopMap 3D optical profilometers capture millions of height data points across the entire surface in just seconds using coherence scanning interferometry. This enables precise topography measurements on a wide range of materials—from rough CNC-machined surfaces to smooth, highly reflective wafers. Intelligent scanning technology automatically handles varying reflectivity, delivering reliable, repeatable measurements with minimal setup time.
Engineers rely on TopMap systems to quickly analyze microsensors, actuators, sealing surfaces, structured metal sheets, machined components, and biomedical samples. The result is faster development cycles, improved product quality, and greater confidence in microstructure performance.
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