White-light interferometry

Les interféromètres modernes à lumière blanche utilisent les effets d'interférence qui se produisent lors de la superposition de la lumière réfléchie par un objet mesuré avec la lumière renvoyée par un miroir de référence de haute précision.

La méthode de mesure est basée sur le principe de l'interféromètre de Michelson, selon lequel le montage optique (image) contient une source de lumière avec une longueur de cohérence de l’ordre du μm. Le faisceau lumineux collimaté est divisé par un séparateur de faisceau en un faisceau de mesure et de référence. Le faisceau de mesure est réfléchi par l’objet mesuré et le faisceau de référence par le miroir. La lumière réfléchie par le miroir et l'objet mesuré est à nouveau recombinée en un seul faisceau lumineux qui est ensuite focalisée sur le détecteur.

Quand les 2 chemins optiques, entre l’objet mesuré et le séparateur et le miroir de référence et le séparateur sont identiques, il se produit une interférence constructive pour toutes les longueurs d'onde dans le spectre de la source de lumière. L’'intensité du pixel au point objet est alors maximale. Pour les points d'objet dont les chemins optiques sont différents, l'intensité des pixels correspondants sont alors faible. Par conséquent, le détecteur enregistre tous les points d’un même plan.

Des appareils avec un montage télécentrique permettent de mesurer simultanément et rapidement la topographie de grandes surfaces en une seule mesure. En revanche si vous avez besoin d'une haute résolution latérale, les profilomètres optiques qui se basent sur les microscopes qui présentent un objectif constituent une solution idéale.

Surface parameters

Basic priciples of scanning white-light interferometry

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