MSA-100-3D Micro System Analyzer

3D Schwingungsmessung für MEMS und Mikrosysteme

3D Schwingungsmessung für MEMS und Mikrosysteme

Schwingungen realer Objekte sind gewöhnlich dreidimensional. Sie können Vorzugsrichtungen aufweisen, aber Fertigungstoleranzen und weitere Einflüsse führen zu Bewegungskomponenten auch in anderen Raumrichtungen. Mit dem MSA-100-3D Micro System Analyzer analysieren Sie das dynamische Verhalten Ihrer Messobjekte ganzheitlich, breitbandig und in Echtzeit. Die Schwingungskomponenten in allen drei Raumrichtungen werden gleichzeitig und hochaufgelöst erfasst und als ein integrierter Datensatz analysiert. Die für Laser-Vibrometer typische Amplitudenauflösung im sub-Pikometer-Bereich erreichen Sie unabhängig von der Schwingungsrichtung.

Weil sich das wahre Leben in 3D abspielt

Zusammen mit der hohen lateralen Auflösung durch einen mikroskopisch kleinen Laserspot und der Frequenzbandbreite von bis zu 25 MHz ist das Polytec MSA-100-3D das ideale Messgerät zur Charakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren und Aktuatoren (MEMS), anderen Mikrostrukturen und biologischen Proben. Das MSA-100-3D analysiert Messobjekte vollflächig durch softwaregesteuertes Scannen der Probe und anschließende grafische Darstellung der Schwingformen.

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Schwingungen von Mikrostrukturen auflösen

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Zugehörige Produkte

Polytec MSA-050 Micro System Analyzer

MSA-050 Micro System Analyzer

Mit dem Einstiegsgerät in die Mikroskop-Vibrometrie erfassen Sie Schwingungen an kleinen Bauteilen und Mikrosystemen vollflächig und hochgenau. Es misst berührungslos und erfasst so die Dynamik selbst kleiner Messobjekte vollkommen unverfälscht.