Effizient Entwickeln in der Mikro- und Nanotechnologie

Um Mikrosysteme zu entwickeln und zu produzieren, ist eine präzise, zuverlässige und schnelle Messtechnik zur Charakterisierung und Qualitätsüberwachung der Bauelemente entscheidend. Das ist umso wichtiger, da Mikrosensoren verstärkt auch sicherheitsrelevante Aufgaben übernehmen – mit hohen Anforderungen an die Zuverlässigkeit und Funktionssicherheit. Robustes Design und hohe Fertigungspräzision spielen dabei eine Schlüsselrolle.  

Aktive mikro-elektromechanische Bauelemente wie MEMS Aktuatoren oder Sensoren benötigen geeignete optische Messverfahren, da eine rein elektrische Charakterisierung nicht ausreicht.  

Hierfür sind  Micro-System-Analyzer von Polytec optimal, sie ermöglichen einerseits die Oberflächentopographie mit einer hohen Auflösung zu bestimmen und andererseits auch das dynamische Bewegungsverhalten präzise zu charakterisieren. Die dynamische Messung mittels Laser-Doppler-Vibrometrie zeichnet sich dabei durch eine große Frequenzbandbreite und hohe Auflösung der Bewegungsamplitude aus. Selbst Schwingungsmessungen im hohen MHz- und bis in den GHz-Bereich hinein, wie sie für immer mehr mikrotechnische Anwendungen erforderlich sind, ermöglicht Ihnen diese Messtechnik.