Pour un développement efficace des micro et nanotechnologies

Pour développer et fabriquer des microsystèmes, une technique de mesure précise, fiable et rapide est essentielle pour la caractérisation et le contrôle de la qualité des composants. Ceci est d'autant plus important que les micros capteurs doivent assumer des tâches essentielles en matière de sécurité, avec des exigences élevées en termes de fiabilité et de sûreté de fonctionnement. La robustesse du design et l'extrême précision de la fabrication jouent à ce titre un rôle majeur. Des composants actifs micros-électro-mécaniques tels que des actionneurs MEMS (micros système électromécanique) ou des capteurs nécessitent des procédés de mesure optiques appropriés, une caractérisation purement électrique ne suffisant pas.

À cet effet, les analyseurs de micro système de Polytec sont parfaits ; ils permettent d'une part de déterminer la topographie de surface à haute résolution et d'autre part, de caractériser avec précision le comportement de mouvement dynamique également. La mesure dynamique par vibrométrie laser à effet Doppler se distingue par une grande largeur de bande de fréquence et une haute résolution d'amplitude du mouvement. Cette technique de mesure s'applique même aux mesures de vibration à hautes fréquences comprises entre des MHz et des GHz, telles qu'elles sont requises fréquemment pour des applications microtechniques.

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La vibrométrie laser au service des détails les plus fins

Caractériser des structures de petites dimensions et délicates sans contact. Analyser les vibrations, l'acoustique et la dynamique. Étudier des échantillons biomédicaux, des composants électroniques et des microstructures telles que les MEMS par la lumière, sans ajout de masse, et ce, du courant continu jusqu'à la plusieurs GHz sur une large bande passante. Les vibromètres laser se concentrent sur les détails les plus fins, mesurant les déformées pour la validation des modèles numériques. Ils évaluent la réponse en fréquence et déterminent la fréquence de résonance, la réponse impulsionnelle et le taux d’amortissement (facteur Q). Quelle que soit leurs dimensions, les vibromètres Polytec caractérisent vos échantillons !

Microstructure characterization

Votre PolyXpert en Vibrométrie