MEMS auf Zuverlässigkeit und Lebensdauer testen

MEMS-Sensoren und Aktoren sind zentrale Funktionselemente in vielen Geräten und Systemen und übernehmen immer öfter auch sicherheitsrelevante Funktionen. Diese müssen zuverlässig, über die gesamte Lebensdauer des Systems und unter herausfordernden Einsatzbedingungen gewährleistet sein. Dazu wird ein MEMS-Bauteil bei mechanischer Anregung, Strahlungs-, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitseinflüssen sowie Druckbelastung durch Umweltsimulation und beschleunigtes Altern in Vakuum- bzw. Klimakammern verifiziert. Gegenüber herkömmlichen Halbleiterbauelementen verfügen MEMS über bewegliche, mikromechanische Komponenten als zentrales Funktionselement. Das dynamische, mechanische Systemverhalten messen zu können, ist daher eine wichtige Aufgabe bei Zuverlässigkeits- und Lebensdauertests.

Schwingung an MEMS in der Vakuumkammer messen

Die MSA Micro System Analyzer Serie von Polytec bietet hierfür sämtliche relevanten Messmodi. Die hochspezialisierten Geräte verfügen über Spezialobjektive mit komfortablem Arbeitsabstand, um sowohl das statische als auch dynamische Bauteilverhalten von außerhalb der Testkammer zu messen.Schwingungsmessungen an MEMS in Vakuumkammer. Der Einfluss des Umgebungsdruck auf die dynamischen Eigenschaften eines MEMS-Bausteins wird mit dem Polytec MSA in Verbindung mit einer Vakuumkammer gemessen, bzw. in Kombination mit einer Vakuum-Probestation für Messungen auf Waferebene.

Microstructure characterization

Ihr PolyXpert für Vibrometrie