Chiplabor (lab on chip) prüfen anhand von Formparametern

Mikrofluidische Lab-on-a-chip-Systeme, kurz LOC genannt, realisieren eine Vielzahl von ablaufenden Prozessen auf kleinstem Raum. Chiplabore analysieren Flüssigkeiten auf einem kompakten Chip zur Prozessanalytik von biologischen, chemischen oder physikalischen Vorgängen. Dabei nutzen Chiplabore die Kapillarwirkung oder Kapillarkraft, um wenige Pikoliter oder Mikroliter eines Fluids zu transportieren. Mit den hochentwickelten mikroskopbasierten Oberflächenmessgeräten der TopMap Serie überprüfen Sie beispielsweise die Maße der mikrofluidischer Kanäle, werten hochgenau die Kanaltiefe oder –breite aus, bestimmen das Volumen oder messen die Ebenheit flächenhaft auf dem gesamten Mikroship. Sind Parallelität, Stufenhöhe oder Ebenheit des Chiplabores nicht innerhalb der sehr engen Toleranzen und nach Vorgabe, hat dies Auswirkungen auf die Performance und Zuverlässigkeit der Chiplabor-Analysen.

Stufenhöhe, Kanaltiefe und Ebenheit am Chiplabor messen

Mit großem Sichtfeld (field of view, FoV) und dank hoher Auflösung entlang der z-Achse erfassen 3D Profilometer der TopMap Serie die Kanaltiefen eines gesamten Chiplabors (engl.: lab on a chip, LOC) flächenhaft und direkt mit nur einer Messung. Der telezentrische optische Aufbau des Weißlichtinterferometers weist einen parallelen Strahlengang auf, weshalb der Kanalboden ohne Abschattungen und Messlücken erfassbar wird. Die Messmikroskopserie innerhalb der TopMap Reihe fokussieren auf Mikrosysteme, Strukturdetails und erlauben es, die laterale Auflösung bei gleichbleibender z-Auflösung schnell und einfach durch Objektivwechsel anzupassen, wenn die Messaufgaben dies erfordert.

Welche Formparameter sind bei Ihren Chiplabors kritisch?

Ihr PolyXpert für Oberflächenmesstechnik