ラボオンチップデバイスの機能性の確保

マイクロ流体ラボオンチップ装置 (LOC) は、わずかなスペースに多数の発生プロセスを実装します。ポリテックの非接触表面粗さ・形状測定機は、例えば、マイクロ流体チャネルの寸法をチェックし、チャネルの深さや幅を調べたり、体積を測定したり、「ラボ」全体の平坦性を局所的に測定したりすることができます。どのようなLOCアプリケーションにも柔軟に対応できる完璧な高解像度ソリューションを提供します。

非接触表面粗さ・形状測定機 TopMap シリーズは、大きな視野 (FOW) と高い Z 軸分解能を持ち、LOC 全体のチャネルの深さを 1 回の測定で記録します。テレセントリックな光学構成により、平行な光路が確保されているため、影の影響を受けずにチャネルベースをほぼ完全に測定することができます。 Z軸方向の分解能は一定ですが、レンズを交換することで、様々な測定タスクに応じて横方向の分解能を簡単に機種もあります。

3次元表面形状に関するお問い合わせ