
芯片实验室应用
保护芯片实验室设备的功能
微流控芯片实验室系统,简称 LOC,可在最小的空间内实现大量的过程。 芯片实验室分析紧凑型芯片上的液体,用于生物、化学或物理过程的过程分析。
芯片实验室使用毛细管力来传输几皮升或微升的流体。
使用 TopMap 轮廓仪等基于显微镜的专用表面计量,允许您检查微流体 芯片实验 通道的尺寸公差,以高精度评估芯片实验室通道深度或宽度,确定体积或测量整个芯片的平面度。
如果芯片实验室的平行度、台阶高度或平面度不在非常严格的公差范围内,并且不符合规范,这将影响芯片实验室分析的性能和可靠性。

通过测量通道深度、通道宽度、平整度和拓扑结构测试片上实验室

片上实验室的三维拓扑结构分析

通过测量通道深度、通道宽度、平整度和拓扑结构测试片上实验室

片上实验室的三维拓扑结构分析
通过测量台阶高度、通道深度或平坦度来表征芯片实验室
通过大视场和高垂直分辨率,TopMap光学轮廓仪只需一次测量即可直接检查整个芯片实验室(LOC)的通道深度和几何形状。
白光干涉仪的远心光学设计显示了平行光束路径,能够捕获芯片实验室设备的通道底部,而不会导致测量数据出现盲点的阴影效应。
TopMap 系列基于显微镜的轮廓仪专注于检查微系统或结构细节、粗糙度评估等。
在保持 Z 轴分辨率不变的情况下,TopMap 系统通过更换镜头快速轻松地调整横向分辨率以适应不断变化的测量任务。
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