Polytec 通过新增一款电动样品台，进一步增强了其Micro.View 系列光学表面轮廓仪的功能，该样品台具备100毫米的横向平移能力以及电动倾斜与俯仰功能：借助True Stitching ，在台式配置下处理更大尺寸的样品并扩展测量区域，从未如此简单且具有可重复性。
这款100毫米XY样品台将TopMap 产品线的紧凑型机型升级为一套完整的表面测试工作站，可对粗糙度、纹理、表面光洁度、微观结构、划痕和缺陷，或亚纳米级分辨率的形状参数进行自动化的2D/3D检测。
这款白光干涉仪的紧凑型设计充分利用了 100 毫米的横向行程，而True Stitching 算法则确保了平滑的采样，即使在视野范围之外的边缘区域也能获得可靠的数据。
凭借增强的倾斜速度、先进的Focus Finder 和Focus Tracker 技术以及自动对中功能，这款光学粗糙度测试仪可提供可重复的测量结果，使任何测试实验室和质量控制流程更加专业且高效。
用户可从2.5X、10x至111x等多种物镜中进行选择，包括低反射和明场选项。尤其是独特的0.6x物镜，将测试能力从经典的显微地形测量扩展至更大形状和地形测量，视野扩大至15.53 x 11.71 mm²。
凭借全新的样品台，该 TopMap Micro.View 成为快速测量较大表面区域的理想解决方案。无论是覆盖4英寸晶圆尺寸的精密机械或电子元件，测试微系统阵列，还是实现多样品检测的托盘测量自动化，本系统均能胜任。
www.Polytec.com/TopMap
技术规格
| XY工作台 | |
| XY行程 | 100 × 100 毫米² |
| 最大XY速度 | 10 毫米/秒 |
| 探针倾斜模块 | |
| 最大倾斜角度 | ±2.5°（电动控制） |
| 最大样品重量 | 5 千克 |
| 最大倾斜速度 | 2.5 °/s |
| 角分辨率 | 0.02 角秒 |
| 配套软件选项 |
|