高出力レーザダイオードアレイの大視野測定

高出力レーザダイオード(HPLD)が確実に動作することを保証するためには、筐体の平面度や段差の高さが適切であるかどうかを確認することが重要です。そのためには、わずかな高低差をとらえ、確実かつ迅速に測定結果を得ることが求められます。ポリテックの非接触表面粗さ・形状測定機 TopMap シリーズは、レーザアレイ内のダイオードを大視野で面的に測定し、半導体の表面曲率と段差の高さを直接分析することができます。広い視野で詳細な表面性状を1回の測定で捉えることができるため、高解像度で、レーザダイオードの筐体を便利で包括的かつ効率的に検査することができます。

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