Weißlicht-Interferometer: Hohe laterale Auflösung und großer Messbereich

Fachartikel über die Oberflächenmessung von Strukturen im Nanometerbereich in Fertigung, Entwicklung, Labor und Forschung.

Immer, wenn es um das Prüfen der Oberflächenbeschaffenheit feinster Strukturen geht, sind Weißlicht-Interferometer in ihrem Element, in Fertigung und Entwicklung ebenso wie im Labor und der Forschung. Das Verfahren funktioniert auf nahezu allen Materialien, arbeitet berührungslos und liefert Höhenauflösungen im Nanometerbereich. Dabei sind großflächige Messungen heute ebenso möglich wie detaillierte, mikroskopbasierte Untersuchungen mit hoher lateraler Auflösung, zum Beispiel zur Oberflächencharakterisierung von Wafern, optischen Komponenten oder in der Tribologie.

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Dieser Artikel ist im Fachmagazin inspect 5/2020 erschienen.

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