Unempfindlich gegen Störeinflüsse

Fachartikel: Die neue Environmental Compensation Technology minimiert die Auswirkungen von externen Störungen auf Ihre Oberflächenmessergebnisse.

Ein neues Verfahren zur Auswertung interferometrischer Messdaten ermöglicht es, die Auswirkungen externer Störeinflüsse deutlich zu reduzieren. Im Gegensatz zu anderen Methoden, die teilweise Artefakte erzeugen, deren Amplitude größer als die der Störungen sind, ist es robuster und erfordert keine explizite Identifizierung der externen Störeinflüsse.

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Dieser Artikel ist im Fachmagazin inVision 2/2020 erschienen.

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