测试 MEMS 的可靠性和使用寿命

MEMS 传感器和致动器是许多设备和系统中的关键功能元件,并越来越多地具有安全相关功能,它们在整个服役期间往往工作环境苛刻,因此必须确保它们性能可靠、稳定。 

因此,MEMS 部件必须在这些条件下进行测试验证。在真空室或气候测试室,对MEMS模块施加如机械激励或辐射,来模拟压力负载或空气湿度影响,在加速老化试验中验证其在长时间条件下的功能稳定性。 

与传统半导体元件不同, MEMS 特征在于将移动的微机械部件作为其关键功能元件,因此,在进行可靠性和使用寿命测试时,测量机械系统动态特性的能力就至关重要。

实际示例:

实际示例:真空室中 MEMS 的振动测量

鉴于此,Polytec 显微系统分析仪能满足所有相关的测试需求。集多种功能于一体的测试系统还可配备能远距离测试的特殊镜头,可从测试室外部测量组件的静态和动态特性。 

使用Polytec公司的MSA 测量环境压力对 MEMS 模块动态特性的影响,可结合真空室或真空探针台,完成晶片级测试。 

Microstructure characterization

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