MEMS的可靠性与使用寿命测试
MEMS传感器和执行器是许多设备和系统中的关键功能元件，而且它们越来越频繁地承担与安全相关的功能。因此，它们必须在整个系统使用寿命期间保持可靠并得到保障，且往往需要在严苛的工作条件下运行。正因如此，对新型MEMS组件的验证必须在这些具体条件下进行。 通常使用真空或气候试验箱来模拟压力载荷或空气湿度的影响，并施加机械激励或辐射等刺激。长期功能稳定性则通过加速老化试验进行验证。由于MEMS与传统半导体元件不同，其关键功能元件是可移动的微机械部件，因此在可靠性和使用寿命测试中，测量动态机械系统行为的能力至关重要。
真空室中MEMS的振动测量
Polytec显微式激光测振仪（Micro System Analyzer）为您提供了实现这一目的所需的所有相关测量模式。该测量系统功能极为强大，还可配备具有大工作距离的专用镜头，以便在测试腔体外部测量器件的静态和动态特性。Polytec MSA 可用于测量环境压力对 MEMS 模块动态特性的影响，该设备既可与真空腔室配合使用，也可与真空探针台结合使用，以进行晶圆级测量。
微观结构表征
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