MEMS 可靠性测量

在对微机电系统（MEMS）于真空腔环境下开展振动测量工作时，德国 Polytec 公司的显微式激光测振仪堪称理想之选。这款测振仪精心配备了一应俱全的相关测量模式，能够全方位、精准地满足各类测量需求。

该测量系统具备高度的灵活性与多功能性，尤为值得一提的是，它支持安装具有大工作距离的特殊镜头。这一独特设计使得操作人员无需进入测试腔内部，便可在腔外对 MEMS 组件的静态和动态性能进行精确测量，极大地提升了操作的便捷性与安全性。

通过 Polytec MSA，研究人员能够深入探究环境压力对 MEMS 模块动态特性所产生的影响。在实际应用中，它既可以与真空腔协同作业，为 MEMS 组件在真空环境下的性能评估提供可靠数据；也能够与真空探针台配合使用，实现对晶圆级别的高精度测量。这种多样化的组合应用方式，使得 Polytec MSA 在不同的实验场景和测量需求下都能发挥出卓越的性能，为 MEMS 技术的研发和应用提供了强有力的技术支持 。