白光干涉测量：面型光学三维形貌测量技术
现代白光干涉仪借助样本与高精度参考镜的反射光叠加，产生干涉效应来测量。这种测量基于迈克尔逊干涉原理，光路中的光源相干长度在 μm 量级。
准直光束经分光镜，分为测量、参考两束光，前者射向被测样本，后者射向反射镜。二者的反射光在分光镜处汇聚，随后聚焦到相机上。
为什么使用白光干涉仪？
测量光滑和粗糙表面的形状和粗糙度
大视场（单次测量）
带拼接功能的扩展视场
亚 nm 级的Z 向分辨率，不受视场大小影响
Z 向有充足的工作空间
白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）基本原理
测量光路里，物体点光程与参考光路光程相等时，光源各波长发生相长干涉，对应相机像素强度最高。光程不同时，像素强度较低，相机借此记录同一高度的图像点。
远心光路配置的大面积测量系统，单次测量就能快速扫描大面积表面形貌。而参考光路集成于镜头的显微镜式光学轮廓仪，更适合获取整个区域的横向细节。
技术指南：光学表面形貌测量方法的优劣势剖析
在本次技术对比环节，您将全面了解四种常用表面测量方法的特性。对比内容涵盖垂直与横向分辨率，在光滑表面测量、粗糙度分析方面的适配场景，以及拼接或非拼接模式下的表现，助您明晰每种方法的优势与短板 。
- 白光干涉测量法
- 共聚焦显微镜技术
- 聚焦变化测量法
- 色散共焦传感器技术
