Tester la fiabilité et la durée de vie des MEMS

Les capteurs et actionneurs MEMS sont des éléments fonctionnels clés sur de nombreux appareils/systèmes et ont de plus en plus souvent des fonctions relatives à la sécurité. Leur fiabilité doit être garantie tout au long de la durée de vie du produit et sous des conditions d'utilisation difficiles. Un composant MEMS est vérifié par rapport à l'excitation mécanique, les effets du rayonnement, de la température et de l'humidité ainsi que la contrainte de compression, par simulation environnementale et vieillissement accéléré dans des chambres à vide ou climatiques. Par rapport aux dispositifs semi-conducteurs traditionnels, les MEMS disposent de composants mobiles, micro mécaniques comme élément fonctionnel central. La mesure du comportement dynamique et mécanique constitue une tâche importante en matière de tests de fiabilité et de durée de vie des MEMS.

Mesures de vitesse sur MEMS dans la chambre à vide

L'analyseur de microstructures Polytec propose un ensemble de modes de mesures pertinentes. Ce système très spécialisé dispose de lentilles spécifiques avec une distance d'utilisation suffisamment grande pour mesurer le comportement statique et dynamique de l'extérieur de la chambre d'essai. L'effet de la pression ambiante sur les propriétés dynamiques d'un composant MEMS est mesuré à l'aide d'un MSA Polytec combiné à une chambre à vide ou une station d'essai de dépression pour des mesures au niveau du wafer.

Microstructure characterization

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