Mikro- & Nanotechnologie

Um Mikrosysteme zu entwickeln und zu produzieren, ist eine präzise, zuverlässige und schnelle Messtechnik zur Charakterisierung und Qualitätsüberwachung der Bauelemente entscheidend. Das ist umso wichtiger, da Mikrosensoren verstärkt auch sicherheitsrelevante Aufgaben übernehmen – mit hohen Anforderungen an die Zuverlässigkeit und Funktionssicherheit. Robustes Design und hohe Fertigungspräzision spielen dabei eine Schlüsselrolle.

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