白光干涉测量：面型光学三维形貌测量技术
现代白光干涉仪借助样品与高精度参考镜的反射光叠加，产生干涉效应来测量。这种测量基于迈克尔逊干涉原理，光路中光源的相干长度在μm量级。
准直光束经分光镜分为测量、参考两束光，前者射向被测样品，后者射向反射镜。二者的反射光在分光镜处汇聚，随后聚焦到相机上。
网络研讨会：轻松实现粗糙度测量
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测量光路中，物体点光程与参考光路光程相等时，光源各波长发生相长干涉，对应相机像素强度高。光程不同时，像素强度较低，相机借此记录同一高度的图像点。
远心光路配置的大面积测量系统，单次测量即可快速扫描大面积表面形貌。而参考光路集成于镜头的显微镜式光学轮廓仪，更适合获取整个区域的横向细节。
白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）基本原理
白光干涉技术在表面测量学中的优势
相较于接触式/探针法，白光干涉仪（WLI）能依照ISO 25178标准测量真实的平面（3D）粗糙度，通过单次扫描即可捕捉各向异性与复杂纹理，生成数百万个数据点；因此在生产节拍时间内，您能获得比线性探针测量更高的空间采样率与更强的统计效力。
由于采用非接触式设计，WLI可避免探针卷积与磨损问题（不损伤软质或镀膜光学元件），同时提供可重复的纳米级垂直精度；然而在仅需轮廓规格的应用场景，或生产质量保证中需快速、经济地检测Ra与Rz等参数时，探针轮廓仪仍具价值。此外，相较于其他非接触技术，WLI具备多重优势。
垂直分辨率与视场无关
使用白光干涉测量法（相干扫描干涉测量法）进行平面测量时，垂直分辨率并不取决于所选的物镜。白光干涉测量法是一种分辨率与视场无关的测量方法。
我们的白光干涉仪产品组合
选择合适的表面测量方案，可放心选用轮廓仪。通过我们的"先试后买"方案，让您轻松获益。
两份简明指南将带您完成关键决策：一份帮助您选择合适的测量技术，另一份帮助您选择合适的测量尺度——微观还是宏观。此外，通过我们的先试后买服务，您可以用自己的工件实际验证您的选择。
技术指南：光学表面形貌测量方法的优劣势剖析
在本次技术对比环节，您将全面了解四种常用表面测量方法的特性。对比内容涵盖垂直与横向分辨率，在光滑表面测量、粗糙度分析方面的适配场景，以及拼接或非拼接模式下的表现，助您明晰每种方法的优势与短板 。
- 白光干涉测量法
- 共聚焦显微镜技术
- 聚焦变化测量法
- 色散共焦传感器技术
