MSA IRIS Messdienstleistung
Optische Schwingungsmessung und Modalanalyse an Silikon verkapselten MEMS
Vibrometrie

- Vibrometrie
-
Produkte
-
Mikroskopbasierte Vibrometer
-
MSA IRIS Messdienstleistung










Verkapselte MEMS berührungsfrei prüfen als Dienstleistung
Die Laser-Doppler-Vibrometrie (LDV) ist die etablierte Messmethodik zur Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen mit höchster Präzision. Laservibrometer arbeiten typischerweise mit sichtbaren Wellenlängen, welche die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdingt und verkapselte MEMS somit nicht direkt untersuchen kann. Die Charakterisierung eines solchen MEMS mit Lichtquellen im nahinfraroten Wellenlängenbereich hingegen erlaubt es, sogar eingekapselte MEMS ohne Öffnen der Kapsel zu durchdingen und zu vermessen.
Der Prozessschritt der Verkapselung von Mikrostrukturen und MEMS kann zu zusätzlichen Belastungen führen, welche die Performance beeinflussen kann. Daher ist eine umfassende Charakterisierung des MEMS-Bausteine im endgültigen, also eingekapselten Zustand unabdingbar. Da Silizium im nahen Infrarotspektrum oberhalb von Wellenlängen von 1050 nm transparent ist, eröffnet die neue und patentierte, auf Infrarotinterferometern basierende Schwingungsmessung von Polytec die Möglichkeit, eingekapselte MEMS auf reales Schwingverhalten zu messen und somit repräsentative Messergebnisse zu liefern. Diese brandneue, innovative Interferometer-Technologie von Polytec bietet höchste Datenqualität aufgrund der expliziten Trennung der einzelnen Bauteilschichten (layer) in verkapselten MEMS.
Modalanalyse Silizium verkapselter MEMS
Kontaktieren Sie uns für eine umfassende und repräsentative Untersuchung Ihrer verkapselter MEMS! Unsere PolyXperts freuen sich darauf, Proben Ihrer verkapselten Mikrostrukturen zu erhalten: für umfangreiche experimentelle Modalanalysen, Machbarkeitsstudien und Beratung in sämtlichen Projektphasen von Entwicklung über Prototyping bis zur Produktion.
- Fragen Sie nach unseren PolyXperts Messdienstleistungen und nutzen Sie diese brandneue, patentierte Messtechnologie für umgehende Analyse ohne Investitionsrisiko
- Effektive Trennung der verschiedenen Bauteilebenen verkapselter MEMS für korrekte Analysen der Bauteildynamik
- Erfassen Sie das wahre Schwingverhalten an komplexen Si-verkapselten MEMS
- Hochaufgelöste Modaltestdaten bis zu 25 MHz, ideal geeignet für die verlässliche FE Modellvalidierung von MEMS in verkapseltem Zustand
- Integriertes Hochleistungs-IR Mikroskop zur Visualisierung der Silizium-Schichten
- Im Videomikroskopie-Modus In-Plane Bewegungen (in der Bauteilebene) bis zu 2.5 MHz erfassen
- Unterstützt sämtliche Standard Dateiexportformate für Modaldaten, Grafik sowie Video zur direkten Nachbearbeitung
- Nutzen Sie Polytecs ScanViewer und Desktop Software kostenfrei zum Teilen und Präsentieren Ihrer Messergebnisse
Wafer-level and single-die testing
Lieber Besucher, um unsere Videos abspielen zu können, müssen Sie Cookies akzeptieren. Alles zum Thema Cookies finden Sie in unserem Datenschutz
Cookie Einstellungen ändernLieber Besucher, um unsere Videos abspielen zu können, müssen Sie Cookies akzeptieren. Alles zum Thema Cookies finden Sie in unserem Datenschutz
Cookie Einstellungen ändernLieber Besucher, um unsere Videos abspielen zu können, müssen Sie Cookies akzeptieren. Alles zum Thema Cookies finden Sie in unserem Datenschutz
Cookie Einstellungen ändernZugehörige Produkte

MSA-600 Micro System Analyzer
Das komplette optische Messsystem für die statische und dynamische 3D-Charakterisierung von MEMS-Bausteinen in der Mikrosystemtechnik. Das MSA-600 beschleunigt die Entwicklung und Qualitätssicherung und erlaubt dank Kompatibilität zu kommerziell verfügbaren...

PSV-500 Scanning Vibrometer
Das PSV Scanning Vibrometer misst Schwingungen berührungslos und flächenhaft. Als flexible und erweiterbare Plattform meistert es schnell und effizient selbst anspruchsvolle Schwingungsmessaufgaben. Setzen Sie anwendungsspezifisches Zubehör ein oder erweitern...

ScanViewer
Der bequeme Weg, Scanning-Vibrometer-Messdaten mit Ihren Kollegen und Projektpartnern zu teilen. Die Software zur Dateibetrachtung kommt auch ohne vorinstallierte PSV-Vollversion aus, um alle Beteiligten stets mit den neuesten Daten und Auswertungen zu...
Kontakt
Ihr PolyXpert für Vibrometrie