Schnelle und präzise flächenhafte Schichtdickenmessung
Die PVA Vision-Systeme nutzen eine einzigartige Kombination aus optischer Spektroskopie und Bildgebung für eine präzise Oberflächenanalyse. Je nach Materialeigenschaften können Schichtdicken in einem beeindruckenden Bereich von 1 nm bis 500 µm zerstörungsfrei gemessen werden.
Die Technologie ermöglicht die Inspektion auf verschiedensten Substraten wie Halbleitern (Si, SiC), Metallen, Glas und Polymeren. In einem einzigen Messdurchlauf wird die Schichtdicke räumlich aufgelöst über die gesamte Probenfläche erfasst. Abweichungen von den Produktionsspezifikationen sowie Defekte oder Verunreinigungen werden zuverlässig identifiziert.
“ Im Vordergund stand ein geradliniges, ehrliches Design. Es fokussiert sich auf das Wesentliche und macht damit diese komplexe Technologie zugänglich.”
Zerstörungs- und berührungsfreie Inspektion dünnster Schichten
Schichtdicken können zerstörungsfrei in einem Bereich von 1 nm bis 500 µm auf verschiedensten Substraten wie Halbleitern, Metallen oder Glas gemessen werden. Gleichzeitig erkennt das System zuverlässig Defekte, Kontaminationen oder Abweichungen von Produktionsspezifikationen.
Schnelligkeit bei der Messung und Auswertung
Die Bench-top-Systeme benötigen für eine umfassende Analyse typischerweise weniger als 20 Sekunden.
Vollständige Probeninformation in einem Durchgang
Die Systeme kombinieren optische Spektroskopie mit bildgebender Analyse, um in einem einzigen Messlauf 100% der Probeninformationen zu erfassen. Diese Technologie ermöglicht eine räumlich aufgelöste Erkennung chemischer, elektrischer und optischer Eigenschaften.
Flexible Hardware- und Software-Anpassung
Die Systeme lassen sich durch verschiedene Lichtquellen und Wellenlängenbereiche der Sensoren (VNIR, SWIR, NIR) sowie kundenindividuelle Probenaufnahmen exakt konfigurieren. Die Auswertung erfolgt dabei effizient über die spezialisierte VEsolve PRO Software auf Standard-Rechnern.
Merkmale
//- Kontaktlose & zerstörungsfreie Messung
- Kompakte bench-top Systeme
- VEpioneer Core: ist noch bekanntzugeben
VEpioneer Macro: 1052 x 568 x 592 mm - Messbare Schichtdicken
- 1 nm bis 500 um (materialabhängig)
- Messdauer für gesamte Probe
- unter 20 s; Inline-Module: Bildraten unter 4 ms möglich
- Probenaufnahme
- typische Wafergröße oder kundenspezifisch
- Leistungsstarke Software
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