Validation de modèle

Le développement de composants MEMS ne serait envisageable sans simulation informatique. Les modèles de simulation EF sont testés et affinés par des comparaisons avec des données expérimentales déterminées. Les procédés de mesure optique sont irremplaçables pour caractériser avec précision les propriétés mécaniques. Le vibromètre laser Doppler de Polytec, combiné aux stations de diagnostic de wafer, est considéré comme le procédé optimal. Vous pouvez ainsi identifier de manière optique, facilement et rapidement, le mouvement mécanique des structures, au sein de composants MEMS et mettre en corrélation le comportement modélisé avec les données de mesure.