Analyser de manière précise et complète la micro mécanique

La possibilité d’intégrer directement des unités fonctionnelles microscopiques mécaniques à des composants électroniques semi-conducteurs, au niveau du silicium, a entraîné une multitude de capteurs et d'actionneurs micromécaniques et a fait le succès des MEMS et des microstrutures

La diversité des types de produits et des domaines d'application est impressionnante. À commencer par les microphones MEMS, les capteurs d'accélération et de vitesse de rotation pour appareils électroniques portatifs. Par ailleurs, pour des applications automobile et aérospatiale il existe une large gamme de micro-miroirs pour la manipulation de la lumière, des dispositifs de récolte d'énergie pour des systèmes autonomes et des microbalances pour les plus infimes quantités de substances. Et enfin, les transducteurs PMUT et CMUT pour créer des ultrasons dans le domaine de la technologie médicale et des éléments micro acoustiques tels que des SAW, mais également dans les applications de type laboratoire-sur-puce. Pour développer des composants MEMS de ce type, outre la technique de mesure électrique, la fonction mécanique directe doit être mesurée avec fiabilité et précision.

Capture des mouvements dans l'avion et hors de l'avion

Les vibromètres monopoints ou à balayage sous microscope de Polytec permettent de saisir en 1D ou 3D les déformations de l'ordre du pm, les fonctions de transfert et les déformées opérationnelles avec une grande largeur de fréquence et la résolution latérale de l'ordre du µm ou du sous µm. L'analyseur de microstructures MSA permet de saisir également la topographie de votre microsystème. L'analyseur de microstructures MSA-100 3D permet de réaliser une mesure de vibrations de surface 3D avec résolution de trajectoire de l'ordre du pm pour des composants hors plan (OOP) et dans le plan (IP), sur un MEMS Cantilever.

Microstructure characterization

Votre PolyXpert en Vibrométrie