Dynamische Charakterisierung von Mesokomponenten und Mikrostrukturen
Die Schwingungsmessung kleiner Strukturen wie elektronischer Bauteile, MEMS oder medizinischer Komponenten gelingt mit den Laser-Doppler-Vibrometern von Polytec besonders einfach und präzise. Diese Systeme ermöglichen die dynamische Charakterisierung von Mesokomponenten und Mikrostrukturen berührungslos, zuverlässig und mit höchster Auflösung.
Dank ihres breiten Frequenzspektrums bis in den GHz-Bereich erfassen die Messsysteme Schwingformen, Resonanzen und Frequenzantworten ebenso exakt wie Impulsantworten und Dämpfungsverhalten. So lassen sich Simulationen und Analyseergebnisse präzise validieren und Entwicklungsprozesse deutlich vereinfachen.

Lösungen für die Mesokomponentenmessung
Das VibroScan QTec ist ein vielseitiges Full‑field‑Vibrometer zur dynamischen Charakterisierung komplexer Strukturen von wenigen cm² bis m². Durch optische Erweiterungen lässt sich der Scanbereich einfach auf Meso‑ und Mikrobereiche anpassen – mit höchster Auflösung, Messstabilität und ohne Systemwechsel.
Präzise Schwingungsmessung kleiner Strukturen
Der neue Adapter für Mikroskopobjektive erweitert Polytec‑Scanning‑Vibrometer zu flexiblen Werkzeugen für die Schwingungsanalyse von Meso‑ und Mikrostrukturen – ideal für Anwendungen in Consumer Electronics, MEMS, Medizintechnik und Sensorik. Das einzigartige VibroScan QTec Neo bietet sichere Kontrolle der Messposition und durch seine kurze Wellenlänge Spotgrößen unter 2 µm bei 10× Vergrößerung und hoher numerischer Apertur. Es ermöglicht so präzise Messungen kleinster Bereiche, ohne auf spezialisierte Mikrosystem‑Analyzer wechseln zu müssen.

VibroScan QTec – der Allrounder in der Schwingungsmesstechnik
Das VibroScan QTec Scanning-Laser-Vibrometer von Polytec ist ein echter Allrounder: Es eignet sich sowohl für großflächige Strukturen, wie etwa bei Schwingungsuntersuchungen an Autokarosserien oder Maschinenbauteilen, als auch für die hochauflösende Analyse kleinster Mikrostrukturen.
Mit dem passenden Zubehör deckt das System den gesamten Messbereich von der Makro- bis zur Mikroebene ab.

Erweiterte Anwendungen mit VibroScan
Mit der Mikroskoperweiterung vergrößert sich der typische Einsatzbereich des VibroScan QTec vom Makrobereich über den cm- und mm-Mesobereich bis in den Mikrobereich.
- MEMS und Mikromechanik
- Hochauflösende Betriebsschwingformen von MEMS-Aktoren und Sensorelementen, inklusive Bewertung von Resonanzverhalten und Frequenzgängen.
- Consumer Electronics
- Detailanalyse von Smartphone-Komponenten wie Kameramodulen, Fokusantrieben, haptischen Aktoren sowie Leiterplatteneffekten wie „Singing Capacitors“.
- Medizinische und biologische Anwendungen
- Untersuchung mechanischer Komponenten in medizinischen Geräten oder biologischer Proben im zugänglichen Größenbereich.
- Strukturdynamik kompakter Baugruppen
- Identifikation lokaler Schwingungshotspots, Aufnahme von Betriebsschwingformen und Validierung von FEM-Modellen im Mesomaßstab.
- Wire Bonding und Halbleiterpackaging
- Charakterisierung des Ultraschall-Schwingverhaltens von Bondkapillaren und Bondwerkzeugen und in Echtzeit zur Prozessoptimierung und Qualitätssicherung in der Halbleiterfertigung.
- Haptische Aktoren und Feedback-Systeme
- Validierung von haptischen Motoren und LRA-Aktoren mittels Zeitsequenz-Geschwindigkeitsmessungen sowie Visualisierung von Wellenausbreitung in haptischen Displays, von der Entwicklung bis zur Fertigungsqualitätssicherung, besonders im Automobilbereich.




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Gerne zeigen wir Ihnen in einer kurzen Demo, wie einfach und effizient Messungen mit Mikroskoperweiterung durchgeführt werden – entweder an unseren Komponenten oder direkt an Ihrem Bauteil.
Nahaufnahme mit Koaxialeinheit
Die PSV Koaxialeinheit führt das Sichtzentrum der integrierten Kamera exakt mit der Laserstrahlachse zusammen und ermöglicht dadurch parallaxefreie Messungen.
Durch die optionale Mikro-Scanlinse an der Front lässt sich das Sichtfeld gezielt anpassen: Der Laserfleckdurchmesser wird verkleinert, während die Vergrößerung erhöht werden kann. Damit sind Messungen mit noch höherer Auflösung möglich, ideal für kleine oder strukturreiche Messobjekte.
Ein besonderes Merkmal dieser Optik ist die Möglichkeit, den Laserstrahl parallel zur Objektoberfläche auszurichten, auch bei Scanmessungen. So lassen sich selbst spiegelnde Oberflächen zuverlässig messen, da das reflektierte Licht sicher erfasst wird. Das sorgt für stabile und reproduzierbare Ergebnisse.

Mikroskoperweiterung für Full-Field-Vibrometer
Die Mikroskoperweiterung dient als Adapter zur Montage von Mikroskopobjektiven an der Nahaufnahmeeinheit. Sie eröffnet Zugang zu noch höheren Vergrößerungen als mit herkömmlichen Mikro-Scanlinsen und erweitert das Spektrum präziser Schwingungsmessungen bis in den Mikrobereich.
Eine integrierte, koaxiale LED-Beleuchtung sorgt für optimale Ausleuchtung und höchste Bildqualität, unabhängig von der gewählten Objektivvergrößerung. Damit können unterschiedliche Mikroskopobjektive flexibel eingesetzt werden.
Bei einer 10×-Vergrößerung lässt sich der Laserpunktdurchmesser auf nur 2 µm reduzieren, was eine Voraussetzung für hochpräzise Messungen feinster Strukturen in Forschung und Entwicklung ist.

Berührungslose Vibrometrie für Meso-Bauteile und Mikrostrukturen
Von cm² bis in den µm-Bereich: Erfahren Sie, wie VibroScan QTec dynamische Eigenschaften kleiner, eingebetteter Strukturen wie Kameramodule, MEMS-Mikrofone oder Bonding-Drähte präzise charakterisiert und den Messaufbau mit passenden Zusatzoptiken in den Meso- und Mikrobereich erweitert.

Weitere Anwendungen
Zugehörige Produkte

VibroScan QTec Xtra
VibroScan QTec Xtra misst Schwingungen auf eine neue Art – berührungslos, flächenhaft und mit ungekannter Präzision. Mit seiner bahnbrechenden Mehrkanal-Interferometrie setzt QTec® neue Maßstäbe in Sachen optischer Empfindlichkeit und Störsicherheit. Das Xtra basierend auf einem infraroten (SWIR) Laser zeichnet sich durch höchste optische Empfindlichkeit aus, um hochgenaue Messungen selbst auf anspruchsvollen technischen Oberflächen zu garantieren. VibroScan QTec Xtra gewährleistet maximale Portabilität durch integrierte Datenerfassung und Signalgenerator bis 32 MHz.

VibroScan QTec Neo
VibroScan QTec Neo misst Schwingungen auf eine neue Art – berührungslos, flächenhaft und mit ungekannter Präzision. Erstmals ist es gelungen, die QTec-Technologie vom infraroten SWIR-Laser auch auf den sichtbaren Helium-Neon-Laser zu übertragen. Der präzise Helium-Neon-Laser eignet sich mit seinem kleinen Laser-Messfleck für Messungen auf feinsten Strukturen und misst sogar in und durch Wasser. QTec® garantiert immer ein stabiles Signal und ein herausragendes Signal-Rausch-Verhältnis. VibroScan QTec Neo gewährleistet maximale Portabilität durch integrierte Datenerfassung und Signalgenerator bis 32 MHz.