Analyseur de microstructures MSA-600

Caracterisation dynamique 3D et mesure de topographie des MEMS

Caracterisation dynamique 3D et mesure de topographie des MEMS

La topographie de surface, l'analyse et la visualisation des mouvements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Elles sont indispensables pour valider les calculs FE et mesurer la déformation de la surface.

Solution de mesure optique tout-en-un pour MEMS

L’analyseur de microstructures MSA-600, station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan. Cet instrument offre une flexibilité et une précision de mesures accrues. Il s'adapte aux besoins des microstructures d'aujourd'hui et de demain. Cet équipement fournit des données de réponses dynamiques et statiques 3D précises qui augmentent les performances des microstructures tout en réduisant les coûts de développement et de fabrication. Ainsi, le MSA-600 améliore et réduit les cycles de conception et simplifie l’analyse des défaillances.

La vibrométrie laser Doppler offre une mesure rapide et en temps réel avec une résolution de déplacement sub-pm. L’interféromètre à lumière blanche fournit des millions de données de surface 3D en quelques secondes. Complété par son fonctionnement simple et son interface utilisateur intuitive, le MSA-600 est la solution de mesure sans contact pour la R&D et le contrôle qualité. Compatible avec les stations sous pointes du commerce, l'analyseur de microstructures vous aide à toutes les étapes du développement - du prototypage MEMS au test et à l’analyse de défaillance- et vous aide ainsi à réduire les coûts de production et accélérer la mise sur le marché de vos composants.

Wafer-Level and Single-Die Testing

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