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Flächenwiderstände messen und mappen
Der Flächenwiderstand einer Schicht und daraus abgeleitete Informationen wie der spezifische Widerstand, die Ladungsträgerdichte oder die Schichtdicke sind Basiskenngrößen, die Sie in vielen Bereichen der Halbleiter- und der Photovoltaikindustrie benötigen. Eine bewährte Methode zur Bestimmung dieser Größen ist die Vier-Spitzen-Messtechnik.
Polytec bietet Messköpfe für alle bekannten Vier-Spitzen-Messgeräte. Auf Anfrage bieten wir auch Widerstandsmessgeräte für Universitäten, Laboratorien und Forschungseinrichtungen.
Zylindrischer Vier-Spitzen-Messkopf
Der zylindrische Vier-Spitzen-Messkopf ist mit Jandel-Geräteständern sowie einigen OEM-Kartierungssystemen kompatibel.
Er kann mit Hilfe eines optionalen Montageadapters in kundeneigene Vier-Spitzen-Messsysteme eingebaut werden. Alternativ ist die zylindrische Form auch für Kunden geeignet, die ihre eigene Messkopfhalterung herstellen.
Die Nadel-Lasten für den Messkopf sind auf eine Last zwischen 10 g und 200 g festgelegt. Für Messköpfe mit einem Abstand von 0,5 mm ist die Belastung zwischen 60 g und 100 g definiert.
Alle Messköpfe werden mit hoher mechanischer Genauigkeit gefertigt. Die Spezifikationen für Radien, Abstände und Ebenheit werden mit Videoinspektionssystemen und optischen Interferometern überprüft, die Belastung mit elektronischen Kraftmessern. Jeder Messkopf verfügt über obere und untere diamantene Nadelführungen.
Optimaler Sondendruck
Die Sonde verfügt über ein Acryl-Isolierpad auf der Messspitze. Dieses Pad kommt bei einer Messung mit der zu messenden Probe in Kontakt. Dadurch wird gewährleistet, dass die Nadeln den richtigen Abstand und die optimale Last erreichen.
Spezifikation
| Merkmal | Wert |
| Sondenabstand | 0,500 mm; 0,635 mm; 1,00 mm; 1,591 mm (Nadel zu Nadel) |
| Toleranz | +/- 10 Mikrometer |
| Anordnung | Linear oder quadratisch |
| Nadeln | Wolframkarbid, 0,4 mm Durchmesser (0,3 mm Durchmesser für enge Abstände) |
| Radien | 12,5; 25; 40; 100; 150; 200; 300; 500 Mikrometer |
| Rückzug zum Pad | 0,5 mm |
| Planarität | +/- 0,025 mm oder besser |
| Lasten | zwischen 10 g und 200 g. Für Sonden mit einem Abstand von 0,500 mm zwischen 60 g und 100 g |
| Leitungen | 4-fach abgeschirmtes Kabel, Teflon-isoliert |
| Elektrischer Leckstrom | 1013 Ohm Widerstand zwischen den Nadeln bei 500 Volt |