Caractérisation de MEMS pour la biologie et la médecine

Microstructure CharacterizationLes microstructures constituent une technologie de base et transversale importante pour des applications médicales et biologiques de différent type. Son champ d'application s'étend des applications de laboratoire sur puce avec ondes de surface à haute fréquence pour le diagnostic médical rapide, aux microphones MEMS pour utilisation dans les prothèses auditives et aux transducteurs ultrasonores pour imagerie médicale basés sur des microstructures.

Misez sur la technique de mesure optique sous microscope, sans contact de Polytec pour déterminer la topographie de surface et la caractérisation dynamiques des capteurs et actionneurs MEMS. De plus, la mesure vibratoire sous microscope est utilisée pour le « transfert technologique » inspiré par la bionique du naturel vers des systèmes techniques, par exemple pour mesurer la biomécanique de la fonction auditive des insectes.

Applications de l'imagerie médicale, de l'échographie et des ultrasons intravasculaires

Les transducteurs fabriqués par micro mécanique (PMUT, CMUT) améliorent les possibilités d'imagerie médicale 3D en temps réel (sonographie) dans des applications telles que l'IVUS (ultrasons intravasculaires) et l'écho cardiographie. Afin de caractériser la micro mécanique de ces éléments transducteurs, la mesure doit être effectuée à hautes fréquences (~10 MHz) et avec une haute résolution spatiale (<1 μm). Les multiples possibilités de l'analyseur de microstructurePolytec fournissent ces informations avec une extrême précision, sans contact pour le développement de PMUT et CMUT.

Development of phononic surface acoustic wave devices

Phononic surface acoustic wave devices have shown great potential for enabling integrated point-of-care diagnostics, using the mechanical energy carried by sound to manipulate liquid samples from patients on low-cost microchips. Reserachers have demonstrated the detection of malaria [Reboud J. et al., PNAS, 2012,
15162-7] from the volume of a fingerprick of blood using an acoustic filter. Laser vibrometry is an essential tool of the development process that permits us to visualize vibrations on the surface across the entire microchips, thus validating our designs. In the future, more complex assays will be integrated on the platform to detect diseases such as tuberculosis.

Microstructure characterization

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