Medición eficiente de los MEMS directamente sobre la oblea
Las pruebas a nivel de oblea, realizadas antes de separar los chips, permiten descartar los chips defectuosos en una fase temprana del proceso de producción, lo que contribuye de manera significativa a mantener bajos los costes de producción de los MEMS, al tiempo que se conservan altos niveles de rendimiento y calidad. Si bien los procedimientos de prueba eléctrica son estándar en este contexto, es necesario realizar ciertas tareas para verificar directamente el funcionamiento mecánico, normalmente mediante mediciones ópticas.
Con las soluciones de Polytec y la línea de productos MSA Micro System Analyzer integradas en prácticamente todas las sondas para obleas disponibles en el mercado, se pone en marcha un proceso de pruebas completo y fiable. Al combinar una estación de sondas (semi)automática con un vibrómetro láser basado en microscopio, se mide de forma eficiente y rápida el comportamiento dinámico de los MEMS directamente sobre la oblea. Se consigue un mayor rendimiento y se utiliza como herramienta clave para supervisar el proceso de producción.
Comportamiento de conmutación en el dominio del tiempo de los conmutadores de RF
Medición en el dominio del tiempo de conmutadores RF-MEMS a nivel de oblea
Caracterización de la microestructura
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