Medición eficiente de los MEMS directamente sobre la oblea
Las pruebas a nivel de oblea, realizadas antes de separar los chips, permiten descartar los chips defectuosos en una fase temprana del proceso de producción, lo que contribuye de manera significativa a mantener bajos los costes de producción de los MEMS, al tiempo que se conservan altos niveles de rendimiento y calidad. Si bien los procedimientos de prueba eléctrica son estándar en este contexto, es necesario realizar ciertas tareas para verificar directamente el funcionamiento mecánico, normalmente mediante mediciones ópticas.
Con las soluciones de Polytec y la línea de productos MSA Micro System Analyzer integradas en prácticamente todas las sondas para obleas disponibles en el mercado, se pone en marcha un proceso de pruebas completo y fiable. Al combinar una estación de sondas (semi)automática con un Vibrómetro láser basado en microscopio, se mide de forma eficiente y rápida el comportamiento dinámico de los MEMS directamente sobre la oblea. Se consigue un mayor rendimiento y se utiliza como herramienta clave para supervisar el proceso de producción.
Comportamiento de conmutación en el dominio del tiempo de los conmutadores de RF
Medición en el dominio del tiempo de conmutadores RF-MEMS a nivel de oblea
Caracterización de la microestructura
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MSA-600 Micro System Analyzer
La solución integral de medición óptica para la caracterización 3D estática y dinámica de MEMS y microestructuras: ¡ahora con una frecuencia de hasta 8 GHz! El sistema de medición de microestructuras « MSA-600 » mejora el desarrollo de microsistemas y los controles de calidad, y permite además realizar pruebas a nivel de oblea cuando se integra en estaciones de sonda disponibles en el mercado.
MSA-100-3D Micro System Analyzer
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MSA-060 Micro System Analyzer
Utiliza el sistema de medición de vibraciones « MSA-060 » para adentrarte en el mundo del análisis de microsistemas. Registra y visualiza las vibraciones y la dinámica de componentes pequeños y microsistemas con precisión láser en toda la superficie, desde CC hasta 24 MHz. Los sistemas « Micro System Analyzer» utilizan láseres de medición, lo que permite revelar la verdadera dinámica de los componentes pequeños de una forma totalmente sin contacto y no invasiva.
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El innovador y patentado sistema « MSA-650 IRIS » ( Micro System Analyzer ), con capacidad de infrarrojos, permite medir la dinámica real de los MEMS hasta 25 MHz mediante la caracterización de los movimientos tanto en el plano como fuera del plano a través de la encapsulación de silicio sin contacto, sin necesidad de preparar ni descapsular el dispositivo.
Servicio de medición MSA IRIS
Esta tecnología de medición totalmente nueva y patentada permite realizar un análisis exhaustivo y representativo de los MEMS encapsulados en silicio, midiendo la dinámica a través de las cubiertas de silicio. Nuestros PolyXperts están deseando recibir sus muestras de MEMS encapsulados para realizar pruebas modales, estudios de viabilidad y asesoramiento en todas las fases, desde el desarrollo y la creación de prototipos hasta la fabricación de sus microestructuras encapsuladas.
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