Pruebas de fiabilidad y vida útil de los MEMS
Los sensores y actuadores MEMS son elementos funcionales clave en muchos dispositivos y sistemas y, cada vez con mayor frecuencia, también desempeñan funciones relacionadas con la seguridad. Por ello, deben ser fiables y ofrecer garantías durante toda la vida útil del sistema, a menudo en condiciones de funcionamiento exigentes. Por lo tanto, la verificación de los nuevos componentes MEMS debe llevarse a cabo precisamente en estas condiciones. Se utilizan cámaras de ensayo de vacío o climáticas para simular las cargas de presión o los efectos de la humedad del aire, y se aplican estímulos como la excitación mecánica o la radiación. La estabilidad funcional a largo plazo se verifica mediante ensayos de envejecimiento acelerado. Dado que, a diferencia de los elementos semiconductores convencionales, los MEMS cuentan con componentes micromecánicos móviles como elementos funcionales clave, la capacidad de medir el comportamiento dinámico y mecánico del sistema es extremadamente importante durante la comprobación de fiabilidad y la vida útil.
Medición de vibración en MEMS en una cámara de vacío
PolytecEl sistema « Micro System Analyzer » te ofrece todos los modos de medición pertinentes para este fin. Este sistema de medición, de gran versatilidad, también puede equiparse con lentes especiales con grandes distancias de separación para medir el comportamiento tanto estático como dinámico de los componentes desde el exterior de una cámara de ensayo. La influencia de la presión ambiental sobre las propiedades dinámicas de un módulo MEMS se mide con el sistema « Polytec » (MSA), que se utiliza bien junto con una cámara de vacío, bien en combinación con una estación de sonda de vacío para realizar mediciones a nivel de oblea.
Caracterización de la microestructura
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