Medición de vibración en 3D para MEMS y microsistemas
Las vibraciones de los objetos reales suelen ser tridimensionales. Aunque es cierto que se pueden observar direcciones preferentes, las tolerancias de fabricación y otros factores influyen en la aparición de componentes de movimiento también en otras direcciones espaciales. El analizador de microsistemas « MSA-100-3D » permite analizar el comportamiento dinámico de la muestra de forma integrada, en una amplia anchura de banda y en tiempo real. Los componentes de vibración en las tres direcciones espaciales se registran simultáneamente en alta resolución y se analizan como un registro de datos integrado. Se consigue la resolución de amplitud subpicométrica típica de los vibrómetros láser, independientemente de la dirección de la vibración.
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Aspectos destacados
//- Medición de vibración en tiempo real con una ancha banda de hasta 25 MHz
- Resolución de amplitud inferior al picómetro tanto para movimientos fuera del plano como dentro del plano
- Mediciones tanto de un solo punto como de medición de superficie completa
- Un punto láser pequeño, de menos de 4 μm, permite una resolución lateral máxima
- Grandes distancias de separación de 38 mm
- Compatible con las estaciones de sonda MEMS más habituales
Porque la vida real se vive en 3D
Gracias a la alta resolución lateral que proporciona un punto láser microscópico y a una anchura de banda de frecuencia de hasta 25 MHz, el Polytec MSA-100-3D es el dispositivo de medición ideal para caracterizar sensores y actuadores microelectromecánicos (MEMS), otras microestructuras y muestras biológicas.
Para la caracterización de campo completo, el MSA-100-3D analiza las muestras en toda su superficie mediante un escaneo realizado por el software, que posteriormente representa gráficamente las formas de deflexión.
Descargas
Accesorios y componentes
Banco de pruebas A-STD-TST-01
Banco de pruebas que ofrece un amplio espacio de trabajo. Con eje Z motorizado, con un recorrido de 200 mm.
A-STD-BAS-02 Soporte de base
Soporte rígido para el cabezal de medición. Incluye un bloque de enfoque manual con un recorrido de 100 mm, con accionamiento de ajuste grueso y fino. Se acopla a mesas ópticas disponibles en el mercado.
Bloque de enfoque A-STD-F50
Recorrido Range de 50 mm. Con accionamiento de paso grueso y fino para el ajuste manual del eje Z del cabezal de medición. Compatible con las estaciones de sonda para obleas disponibles en el mercado.
A-TAB-AIR-01 Mesa con aislamiento activo contra vibraciones
Mesa de aislamiento de vibraciones con amortiguación neumática y ajuste activo del nivel. Compatibilidad: banco de pruebas A-STD-TST-01, soporte de base A-STD-BAS-02.
A-TAB-ELC-01 Mesa con aislamiento activo contra vibraciones
Estabilización de la bobina móvil controlada electrónicamente para obtener el máximo rendimiento de aislamiento. Compatibilidad: banco de pruebas A-STD-TST-01, soporte base A-STD-BAS-02.
A-WST-001 Puesto de trabajo
Estación de trabajo para su uso con las mesas de aislamiento activo contra vibraciones A-TAB-AIR-01 y A-TAB-ELC-01 de Polytec.
A-BBO-ME02 Placa de pruebas
Placa de pruebas con patrón de orificios métrico. Dimensiones: 900 mm x 600 mm. Compatibilidad: soporte base A-STD-BAS-02.
Placa de pruebas de aislamiento activo de vibraciones A-AVI-MELA
Controlado electrónicamente para ofrecer el máximo rendimiento en aislamiento de vibraciones. Con patrón de orificios métrico. Dimensiones de la base: 600 x 800 mm. Compatibilidad: soporte base A-STD-BAS-02.
A-SPK-0008 Módulo de prueba de obleas
Junto con la plataforma de posicionamiento XY A-PST-200P, el módulo de análisis de obleas forma una mesa motorizada para el contacto eléctrico y la medición de alta precisión de obleas y sustratos de hasta 200 mm de diámetro.
A-SPK-0010 Módulo de sonda de vacío
Tuberías de vacío y purga. Micromanipulador para la manipulación de cuatro sondas eléctricas.
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