Medición de la respuesta dinámica y la topografía de los MEMS y las microestructuras
El análisis y la visualización de la topografía superficial y del movimiento dinámico son fundamentales para probar y desarrollar microestructuras como los dispositivos MEMS (sistemas microelectromecánicos). Son indispensables para validar los cálculos de elementos finitos, determinar los efectos de diafonía y medir la deformación superficial. El Micro System Analyzer de MSA-600 es una estación de trabajo de medición óptica «todo en uno» para caracterizar la topografía superficial, así como los movimientos en el plano y fuera del plano.
Las versiones MSA-600-M/V cubren rangos de frecuencia de hasta 25 MHz, lo que las hace ideales para MEMS, micrófonos MEMS y otros microsistemas. Las versiones MSA-600-X/U cubren el rango de frecuencias altas y muy altas de hasta 2,5 GHz, perfectas para la evaluación de resonadores MEMS de alta frecuencia, dispositivos microacústicos como SAW, BAW y otros.
ESTRENO:
El MSA-600-S es una estación de trabajo de medición óptica especializada, diseñada para el análisis de vibración en tiempo real hasta 8 GHz y el análisis de la topografía de superficies. Es ideal para probar MEMS de GHz, como los resonadores acústicos de película (FBAR), los filtros de onda acústica de volumen (BAW) y los dispositivos de onda acústica superficial (saw).
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Aspectos destacados
//- Estación de trabajo de medición óptica «todo en uno» para microestructuras
- Medición de la respuesta en tiempo real (sin necesidad de posprocesamiento)
- Versiones MSA-600: M/V con hasta 25 MHz
- Versiones MSA-600-X/U con una frecuencia de hasta 2,5 GHz
- NUEVO « MSA-600-S» con hasta 8 GHz
- Resolución de desplazamiento sin igual a nivel sub-pm
- Medición y visualización rápidas de las formas de deflexión
- Strun funcionamiento sencillo e intuitivo
- Sistema automatizado que permite una fácil integración en estaciones de prueba
- Opciones de importación y exportación para la validación de modelo de elementos finitos
Solución integral de medición óptica para MEMS
El analizador de microsistemas « MSA-600 » ofrece una mayor flexibilidad y precisión en las mediciones, adaptándose a las necesidades de las microestructuras actuales y futuras. El analizador de microsistemas proporciona datos precisos de respuesta dinámica y estática en 3D que aumentan el rendimiento de los dispositivos al tiempo que reducen los costes de desarrollo y fabricación. De este modo, optimiza y acorta los ciclos de diseño, simplifica la resolución de problemas y mejora el rendimiento.
El vibrómetro láser Doppler de alto rendimiento ofrece mediciones de respuesta rápidas y en tiempo real con una resolución de desplazamiento inferior a un pm. Además, la opción de interferómetro de luz blanca proporciona millones de datos de superficie 3D en cuestión de segundos. Complementado por su funcionamiento sencillo y su interfaz de usuario intuitiva, el MSA-600 es la potente solución de medición óptica para investigación, desarrollo (I+D) y control de calidad (CC). Compatible con las estaciones de sonda habituales, el analizador de microsistemas le ayuda en todas las fases del desarrollo —desde la creación de prototipos de MEMS hasta las pruebas y la resolución de errores— y, de este modo, le permite reducir los costes de producción y acortar el tiempo de comercialización.
Solución de pruebas especializada de 8 GHz para MEMS de GHz
El « MSA-600-S» es la estación de trabajo especializada en mediciones ópticas de primer nivel que permite realizar análisis de vibración y análisis de superficies hasta los 8 GHz. Utiliza el « MSA-600-S» para desarrollar dispositivos de GHz, para el control de calidad mediante la evaluación de parámetros de forma y para realizar pruebas de rendimiento y comprobación de fiabilidad de los dispositivos. Esto permite realizar pruebas en dispositivos de alta frecuencia, como los FBAR (resonadores acústicos de volumen de película) y otros resonadores y dispositivos de GHz.
Prueba a nivel de oblea y de un solo chip
Descargas
validación de modelo de elementos finitos
¿Cómo validar modelos de elementos finitos de forma eficaz utilizando datos de medición óptica fiables con una resolución espacial similar a la del modelo de elementos finitos? Los modelos de elementos finitos (FE) pueden reducir considerablemente el tiempo y el coste de desarrollo. La idea que subyace a la validación del método de elementos finitos (FEM) consiste en comparar los resultados de la simulación con datos de ensayos reales, lo que se conoce como prueba modal. Polytec Los vibrómetros de escaneo miden y proporcionan formas de deflexión en 2D/3D como visualización intuitiva.
análisis modal
El análisis modal es el proceso que permite determinar las propiedades de vibración natural inherentes a una estructura. Los modos de vibración de una estructura pueden simularse, por ejemplo, a partir de modelos de elementos finitos (EF), o bien deducirse a partir de los resultados de mediciones físicas mediante el ajuste de un modelo matemático a dichos resultados. Este último proceso se denomina análisis modal experimental.
Accesorios y componentes
Objetivos de campo claro A-MOB-xxxx
Para la medición de vibraciones fuera del plano y en el plano. Aumentos disponibles: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x y 3,6x, 10x para grandes distancias de trabajo.
Banco de pruebas A-STD-TST-01
Banco de pruebas que ofrece un amplio espacio de trabajo. Con eje Z motorizado, con un recorrido de 200 mm.
A-STD-BAS-02 Soporte de base
Soporte rígido para el cabezal de medición. Incluye un bloque de enfoque manual con un recorrido de 100 mm, con accionamiento de ajuste grueso y fino. Se acopla a mesas ópticas disponibles en el mercado.
Bloque de enfoque A-STD-F50
Recorrido de 50 mm. Con accionamiento de paso grande y paso fino para el ajuste manual del eje Z del cabezal de medición. Compatible con las estaciones de sonda para obleas disponibles en el mercado.
A-TAB-AIR-01 Mesa con aislamiento activo contra vibraciones
Mesa de aislamiento de vibraciones con amortiguación neumática y ajuste activo del nivel. Compatibilidad: banco de pruebas A-STD-TST-01, soporte de base A-STD-BAS-02.
A-TAB-ELC-01 Mesa con aislamiento activo contra vibraciones
Estabilización de la bobina móvil controlada electrónicamente para obtener el máximo rendimiento de aislamiento. Compatibilidad: banco de pruebas A-STD-TST-01, soporte base A-STD-BAS-02.
A-BBO-ME02 Placa de pruebas
Placa de pruebas con patrón de orificios métrico. Dimensiones: 900 mm x 600 mm. Compatibilidad: soporte base A-STD-BAS-02.
Placa de pruebas de aislamiento activo de vibraciones A-AVI-MELA
Controlado electrónicamente para ofrecer el máximo rendimiento en aislamiento de vibraciones. Con patrón de orificios métrico. Dimensiones de la base: 600 x 800 mm. Compatibilidad: soporte base A-STD-BAS-02.
A-ESG-001 Generador de señales externo
Para la excitación de muestras de banda ancha y alta frecuencia. Se puede controlar de forma remota a través de PSV Software.
A-SPK-0008 Módulo de prueba de obleas
Junto con la plataforma de posicionamiento XY A-PST-200P, el módulo de análisis de obleas forma una mesa motorizada para el contacto eléctrico y la medición de alta precisión de obleas y sustratos de hasta 200 mm de diámetro.
A-SPK-0010 Módulo de sonda de vacío
Tuberías de vacío y purga. Micromanipulador para la manipulación de cuatro sondas eléctricas.
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MSA-650 IRIS Analizador de microsistemas
El innovador y patentado analizador de microsistemas « MSA-650 IRIS », con capacidad de infrarrojos, permite medir la dinámica real de los MEMS hasta 25 MHz mediante la caracterización de los movimientos tanto en el plano como fuera del plano a través de la encapsulación de silicio, sin contacto y sin necesidad de preparar ni descapsular el dispositivo.
MSA-100-3D Analizador de microsistemas
El analizador 3D Micro System Analyzer registra simultáneamente los componentes de vibración en las tres direcciones espaciales. El sistema de medición óptica permite realizar análisis de vibración en 3D de alta resolución, desde CC hasta 25 MHz, con resoluciones de amplitud en el rango subpicométrico, tanto para los componentes de vibración en el plano como fuera de él.
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Utiliza el analizador de microsistemas « MSA-060 » para adentrarte en el mundo del análisis de microsistemas. Registra y visualiza las vibraciones y la dinámica de componentes pequeños y microsistemas con precisión láser en toda la superficie, desde CC hasta 24 MHz. Los analizadores de microsistemas utilizan láseres de medición, lo que permite revelar la verdadera dinámica de los componentes pequeños de una forma totalmente sin contacto y sin invasión.
PSV Software
El « PSV Software » es el núcleo de todos los sistemas de medición de vibraciones de superficie completa de Polytec. Este completo paquete de software permite la adquisición rápida y sencilla de los datos de medición de vibración recopilados con todos los vibrómetros de escaneo de VibroScan QTec, la serie MSA Micro System Analyzer para observaciones microscópicas o la estación de ensayos estructurales automatizada RoboVib®.
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